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2025/12/23
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直流溅射为什么不能溅射绝缘体 直流溅射和射频溅射的区别
直流溅射是一种利用电极在真空或惰性气体中将材料溅射到衬底上来形成薄膜的技术。与射频溅射相比,直流溅射的能量很低,因此无法将材料溅射到不良导体如绝缘体表面。另外,直流溅射形成的薄膜的结构比较致密,适合制备金属和合金化合物薄膜。
eefocus_3880508
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2023/03/17
射频溅射
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