GaA_GaA是什么意思

一文了解新型晶体管(环栅晶体管GAA)制造技术

本文探讨了CMOS晶体管的发展趋势，特别是针对短沟道效应的解决方案。介绍了新型材料（如GaAs、InGaAs、InAs等）和结构（如FinFET、GAAFET）的应用，以及英特尔和台积电在制程技术上的创新。重点阐述了垂直型环栅晶体管（GAAFET）的优势，包括更优的沟道形貌、不受光刻限制的栅极长度、更高的集成密度和更低的功耗。文中还详细介绍了GAAFET的制造工艺，对比了水平型和垂直型环栅晶体管的特点，并指出现有技术面临的挑战和改进方向。

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11/03 10:45

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中国FlipFET技术，颠覆芯片

2025年，半导体行业正式叩响GAA时代。随着GAAFET 技术的落地，“逻辑芯片下一个大趋势” 的光环也随之褪去。三星在3nm中已应用GAAFET技术，台积电也表示今年下半年大规模生产的2nm芯片中将应用GAAFET技术。那么 GAA 之后，谁来接棒？按此前的技术路径，CFET 本是下一代架构的公认标杆。但随着 VLSI 2025 的启幕，中国北京大学提出的 FlipFET 技术，引起更大

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GaA

先进制程晶圆制造工艺挑战之一GAA器件模型

3纳米工艺节点中的GAA晶体管带来了显著的技术挑战。提取电气特性需要新的方法和工具，以应对其复杂的三维结构和对工艺变异的敏感性。同时，新的物理失效模式也需要在设计和制造过程中加以重视，以确保晶体管的可靠性和性能。3纳米晶圆制造工艺中的“Gate all-around (GAA) transistors”所带来的新提取要求和物理失效模式是一个复杂的问题。

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2024/07/17

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如何抑制GAA寄生沟道？微电子所给出方案

作为GAA制造流程的一环，子鳍可能引发寄生沟道效应等副作用，导致GAA晶体管的器件性能下降。为此，中科院微电子所先导工艺研发中心团队开发了缩窄子鳍的工艺改进方案。