真空发生器是什么东西 真空发生器和真空泵的区别

真空发生器是一种可以产生低压或高真空环境的设备。它主要由真空容器、真空系统和真空源等组成。

1.真空发生器和真空泵的区别

真空发生器和真空泵的最大区别是在操作原理上。真空发生器是利用物理吸附、化学吸附、金属表面互作用等方式来减压的。而真空泵则是通过机械排气和分子扩散两种途径来实现减压的。

2.真空发生器的工作原理

真空发生器工作时，将外部气体抽入真空容器形成真空环境。其中，真空系统包含气阀、真空传感器、真空管路等组件。真空源则包括涡轮分子泵、离子泵、扩散泵等。这些组成部分相互配合协同作用，形成一个可以控制气体压强的真空环境。

3.真空发生器的应用领域

真空发生器广泛应用于各种科学实验、半导体加工、电子显微镜、光谱仪、涂层等领域。在这些应用中，它常常作为核心组件来控制气体环境，保证实验或加工的精度和可靠性。