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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常收起

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  • 感知未来二十载：Bosch Sensortec 创新征程再启新章
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  • 远距MEMS/固态vsTOF近距雷达方案，哪种会成为主流？
    本文探讨了远距激光雷达（如速腾聚创M1P）与近距激光雷达（如TOF固态雷达）的区别及其在自动驾驶中的应用前景。远距激光雷达适用于高速场景，具有高分辨率点云，适合远距离探测与三维建模；近距激光雷达则更适合低速场景，成本较低，体积小巧。尽管远距激光雷达更具优势，但近距激光雷达因其成本效益和工程实现的简便性，在盲区检测和近距安全需求方面仍有其独特价值。未来的主流可能是混合架构，即在关键位置部署高性能远距激光雷达，并在其他区域使用成本更低的近距激光雷达。
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    展示由Sycamore和µCooling推动的AI接口与热管理设备创新现场演示——9月16日在台北，9月18日在深圳 全球固态MEMS扬声器与微型热管理解决方案领导者xMEMS Labs宣布，其备受期待的xMEMS Live Asia系列研讨会将于9月16日在台北、9月18日在深圳举行。 进入第三年，xMEMS Live Asia将汇集工程师、产品设计师、系统架构师以及企业高管，探讨基于MEMS的
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    GXHT30 是中科银河芯开发的新一代单芯片集成温湿度一体传感器。它基于中科银河芯极微弱信号检测设计平台以及MEMS 工艺设计平台开发完成。在硅基 CMOS 晶圆上集成高灵敏度 MEMS 湿敏元件，从而可以减少多芯片信号传输的干扰，降低芯片面积，提高封装可靠性。它有两个供用户选择的 I2C 地址，I2C 通信速度高达 1MHz，芯片采用小型化 DFN 封装，外形尺寸 2.5 x 2.5 mm²，高
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