mems

加入交流群
扫码加入
获取工程师必备礼包
参与热点资讯讨论

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常收起

查看更多
  • 谷歌OCS的“关键镜子”,国内已量产上千颗
    苏州知芯传感技术有限公司(简称“知芯传感”)在2019年成立,是专注于MEMS微镜设计及结构光投射模组的研发、生产和销售的高新技术企业。公司自主搭建 MEMS 微镜芯片至激光投射模组完整技术链路,相关结构光模组已实现万台级出货,客户覆盖海内外市场,落地场景包含 VR/AR、元宇宙设备、医疗成像、智能硬件、3D 打印等;配套工业 3D 视觉产品与成套方案已面向数家工业企业交付,可适配自动化焊接、工业缺陷检测、机器人视觉导引等制造环节。
    539
    07/15 13:57
    谷歌OCS的“关键镜子”,国内已量产上千颗
  • MS2102AB-M00的防油防尘设计:从封装层面加固的系统可靠性
    你有没有想过,你手里那根雾化器,凭什么知道你“吸”了? 这个问题听起来有点傻。但如果你拆过足够多的雾化器,如果见过维修师傅桌上那一堆“吸不动”和“自己会烧”的坏机,就会明白,这个看似简单的“知道”背后,藏着整个行业多年的隐痛。 我们太习惯把“吸”这个动作当成理所当然的了。嘴唇碰上吸嘴,轻轻一抽,雾化芯开始工作,绵密的雾气涌入口腔。这套流程行云流水,以至于没人会去想,是哪个部件在第一时间捕捉到了那一
  • 耳机麦克风阵列一致性:为何±1dB灵敏度公差对降噪体验至关重要
    耳机产业“声”级战:麦克风从配角变主角 真无线立体声耳机和头戴式耳机的竞争,早已从“音质好不好”演变为“听得清不准、降得净不净、懂你懂不懂”的全方位较量。在这场升级战中,MEMS声学麦克风正从“音频输入组件”升级为定义用户体验的核心“听觉神经”。 行业数据显示,TWS耳机的MEMS麦克风配置数量已从早期的平均每副2颗增长至如今的3颗。旗舰产品甚至搭载4-6颗麦克风,分别承担通话拾音(上行降噪)、环
  • 村田中国亮相2026开放计算技术大会:以坚实品质构筑智算时代开放底座
    行业领先的综合电子元器件制造商村田中国(以下简称“村田”)亮相2026开放计算技术大会(OCP China Day)。本届大会以“智算无界:开放、多元、扩展”为主题,聚焦GW级智算中心、AI原生基础设施、智算网络与高速互联、算电协同优化、绿色低碳等前沿议题。村田围绕数据中心与AI基础设施的能效升级需求,重点展示了包括电源解决方案、集成封装技术、电容器、电感及静噪滤波器、气压传感器在内的多款产品,以
    村田中国亮相2026开放计算技术大会:以坚实品质构筑智算时代开放底座
  • 医疗健康新基建:MEMS气流传感器与超声芯片的精准化应用
    正在迈入一个“万物智能”的时代。无论是穿梭于街头的自动驾驶汽车,还是与我们语音互动的智能音箱,亦或是时刻监测健康的智能手表,这些设备都拥有一个共同的核心基石——微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)。作为物理世界与数字世界之间的桥梁,MEMS传感器负责将压力、温度、声音、运动等物理信号转化为电子设备可以识别的电信号。 曾几何时,MEMS传感器仅仅是
  • MEMS麦克风的射频抗扰性如何影响蓝牙耳机通话质量
    一、市场背景:声音传感器如何定义TWS耳机的用户体验天花板 过去五年间,真无线立体声(TWS)耳机完成了从“新奇玩具”到“生活必需品”的跨越。根据市场调研数据,全球TWS耳机MEMS硅麦克风市场2024年收入约为12.38亿美元,预计2031年将达到27.78亿美元,年复合增长率达12.2%。在中国市场,2025年智能耳机出货量已达12261万台,市场规模约368亿元。 这一增长的核心驱动力是什么
  • MEMS消费电子增量:单台设备搭载量增至19颗,新兴终端成增长引擎
    人工智能与万物互联深度交融,MEMS(微机电系统)正悄然改写科技产业的权力版图。作为连接物理世界与数字世界的“神经末梢”,MEMS已从传统传感器的单一角色,蜕变为驱动智能革命的核心引擎,其产业格局正迎来前所未有的深刻变革。 一、技术突破:从感知到主动干预的质变 MEMS技术正经历从“被动感知”向“主动干预”的革命性跨越。传统MEMS传感器凭借高精度、低功耗优势,成为智能终端的标配,如今更是突破单一
  • 医疗级MEMS麦克风新突破:小尺寸赋能助听器与电子耳变革
    从智能手机的语音降噪,到TWS耳机的主动降噪,再到智能家居的远场唤醒,一颗颗微小的芯片正在无声地支撑着这个充满声音的智能世界。这就是MEMS声学传感器,通常被称为硅麦。它已不再是简单的声电转换器件,而是正在演变为连接物理世界与数字世界的核心入口。 技术迭代:从替代到超越 MEMS硅麦的诞生,最初是为了解决传统驻极体电容麦克风(ECM)在微型化和工艺一致性上的瓶颈。通过半导体光刻技术,MEMS麦克风
  • 水声功率放大器在压电式MEMS水听器的工程设计中的应用
    【概述】 本研究中使用水声功率放大器,搭建MEMS水听器实验系统。 实验名称:压电式MEMS水听器工程设计与深海性能测试实验 研究方向:MEMS水听器、压电薄膜、深海探测、耐压性、多物理场仿真、低频响应、噪声抑制、声透射性能 实验目的:通过优化压电薄膜材料、传感芯片结构、信号放大电路与封装壳体,提升水听器在5000米深海、10MPa以上静水压力下的耐压性、灵敏度、线性度与噪声抑制能力,验证设计方案
  • 光电融合加速:从晶圆厂视角看中国半导体生态的机遇与挑战
    近些年,伴随本土半导体产业的跨越式发展,中国本土晶圆厂也迎来了加速崛起与成长的新阶段。与过去依赖引进整条产线、跟随式发展的模式不同,这一批新创晶圆厂呈现出鲜明的特点:创始团队通常出身于国际或国内头部大厂,具备深厚的技术沉淀与产业视野,他们更懂得如何在高壁垒、高投入的半导体制造领域中找到差异化突破口,而非简单复制成熟工艺路线。广州增芯科技有限公司(以下简称“增芯科技”)便是这股浪潮中的代表性企业之一
    光电融合加速:从晶圆厂视角看中国半导体生态的机遇与挑战
  • 传感芯片的精度之战:MEMS与CMOS技术的融合与创新
    传感芯片追求的核心目标之一是精度——更准确、更稳定地捕捉物理世界的微弱变化。在这场精度之战中,MEMS (微机电系统) 技术与 CMOS (互补金属氧化物半导体) 技术的深度融合与创新是制胜关键。 MEMS:感知物理世界的“微机械手” 原理: 在硅片上制造出微米/纳米尺度的机械结构(如悬臂梁、质量块、空腔、薄膜)。这些结构在受到压力、加速度、声音、化学物质等作用时,会发生形变或运动。 优势: 微型
  • 专访深频智感江彩:以0.1Hz超低频MEMS振动感知,夯实半导体微振动、工业设备与重大工程安全监测底
    在工业数字化、设备预测性维护、半导体精密制造和重大基础设施安全监测持续推进的背景下,振动感知正从传统单点测量工具,升级为工业现场和工程结构的关键数据入口。尤其在半导体洁净厂房、光刻/量测/检测等精密设备、桥梁隧道、大坝等场景中,低频甚至超低频振动信号,往往蕴含着设备稳定性、结构响应和潜在风险的早期信息。 相较于普通工况,半导体制造对微振动更为敏感,工艺设备、厂务系统、地坪基础等各类扰动,都可能影响
    588
    05/22 15:14
  • Aigtek功率放大器在无铅压电MEMS水听器制备技术研究中的应用
    【概述】 本研究中使用功率放大器,搭建无铅压电MEMS水听器试验平台。本实验旨在为高可靠性无铅压电MEMS水听器的工程化应用提供理论与实验支撑,推动其在海洋环境监测及水下目标识别等领域的实用化进程。 实验名称:无铅压电MEMS水听器关键指标测试实验 研究方向:无铅压电材料、AlScN压电薄膜、MEMS水听器、磁控溅射、微纳加工、声阻抗匹配、低噪声信号放大、水下低频声学探测 实验目的:压电MEMS水
  • ADI MEMS技术解析——加速度计和陀螺仪工作原理以及参数详解
    骏龙科技 David Zhang 自90年代起,针对MEMS惯性器件的研究越来越多,MEMS惯性传感器亦开始在商业上广泛应用。本文分别对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪基本工作原理以及MEMS应用进行了比较详细的介绍,对MEMS惯性传感器发展趋势进行了初步推断。ADI在MEMS技术方面有深厚的积累,MEMS产品主要有加速度传感器、陀螺仪,以及由加速度传感器和陀螺仪组合而成的惯性导航单元(IMU)。
    ADI MEMS技术解析——加速度计和陀螺仪工作原理以及参数详解
  • 博世半导体亮相北京车展:以技术创新驱动智能出行
    伴随汽车产业向电动化、智能化全速迈进,半导体已成为决胜未来的核心密码。面对产业变革,拥有逾 60 年造芯积淀的博世,在深耕系统供应商(Tier1)优势的同时,全面展露深厚的全链路半导体底蕴。博世正以端到端的制造实力,为未来出行构筑坚实底座,致力于让全球消费者尽享安全、便利的交通体验。 彰显全栈实力,立下中国市场新里程碑 博世半导体业务现已深度覆盖微机电系统传感器(含消费及车用领域)、功率电子、车用
    博世半导体亮相北京车展:以技术创新驱动智能出行
  • 单晶硅在mems和IC中作用的区别
    MEMS和IC都采用单晶硅,但从工程角度存在显著差异。IC侧重于电学性能,关注掺杂浓度、载流子迁移率等;而MEMS则更注重机械特性,如杨氏模量、内应力等,并且需要释放结构。两者在晶向选择上也有所不同,MEMS通常使用晶向,而IC则更多考虑其对迁移率的影响。
  • 什么是mems?
    MEMS(微机电系统)是一种将物理机械系统和电子电路微缩至微米级别的技术。它由微传感器、微执行器、微结构和微电子组成,用于感知、行动和处理信号。MEMS与传统IC不同,采用立体雕刻而非平面堆叠工艺。在生活中广泛应用于智能手机、汽车电子、光学显示和医疗生物等领域。
    2792
    04/15 09:57
    什么是mems?
  • 赋能AI,智造未来:爱发科电子半导体技术研讨会暨SEMICON China 2026出展圆满举行
    在半导体行业盛会SEMICON China 2026盛大举办之际,全球知名的真空技术综合解决方案提供商—爱发科集团,以“解锁无限可能——真空技术驱动的创新未来”为主题重磅出展,并受邀出席同期中国显示大会论坛。在论坛上,爱发科中国市场总监王禹发表演讲,分享了针对AI+AR市场爆发式增长,爱发科在新型显示领域打造的全链路解决方案。 赋能AI,智造未来:ULVAC电子半导体技术研讨会 3月26日,爱发科
    赋能AI,智造未来:爱发科电子半导体技术研讨会暨SEMICON China 2026出展圆满举行
  • 2 亿 “输血”!国产 MEMS 十强企业绝境翻盘
    深迪半导体完成2亿元战略融资,重返高速发展轨道。该公司曾经历经营危机,现由郑中设计领投,多家产业资本与国有股东加码,资金将用于技术迭代、产能扩张与人才建设,助力消费电子、汽车电子等领域进口替代。
    2151
    03/04 21:13
  • 意法半导体精密运放兼具准确度、速度和稳定性
    意法半导体 (ST) 的TSZ901运算放大器 (运放) 兼备高精度、零漂移和10MHz 增益带宽积(GBW),让高速和高精度应用具有更高的稳定性。 TSZ901采用10MHz 运放中并不常见的斩波稳定技术,在 25°C 时,输入失调电压仅为 5µV,在 -40°C 至 125°C 的工作温度范围内,输入失调电压低于8µV。其他品牌的运放必须在限定温度范围内微调才能达到所需的准确度,而TSZ901
    意法半导体精密运放兼具准确度、速度和稳定性

正在努力加载...