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物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子,或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术, 物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有:真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀膜、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。随着沉积方法和技术的提升,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。物理气相沉积技术早在20世纪初已有些应用,但30年迅速发展成为一门极具广阔应用前景的新技术,并向着环保型、清洁型趋势发展。在钟表行业,尤其是高档手表金属外

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子,或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术, 物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有:真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀膜、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。随着沉积方法和技术的提升,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。物理气相沉积技术早在20世纪初已有些应用,但30年迅速发展成为一门极具广阔应用前景的新技术,并向着环保型、清洁型趋势发展。在钟表行业,尤其是高档手表金属外收起

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    本文介绍了PVD工艺的核心参数与控制,包括溅射功率、腔体压力、衬底偏压等,以及薄膜质量与特性,如方块电阻、应力和阶梯覆盖率。同时,文章也涉及了硬件与缺陷,如靶材、屏蔽套件、除气等。掌握这些术语和参数,有助于薄膜工艺工程师快速定位问题并解决。
    1853
    09/03 13:20
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  • CVD工艺常用专业术语
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    1962
    09/01 14:30
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    一提到PVD设备,我们大多数时候联想到的就是磁控溅射设备。但事实上,作为区别于CVD设备的另一个分支,PVD设备也包含很多种类目前在我统计的数据库里,我把PVD设备又分成了三大类:溅射、蒸镀、分子束外延。
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  • 越制裁,越强大!重要性比肩光刻机的刻蚀设备——北方华创
    美日荷相继加大对华半导体设备出口限制,国产替代迫在眉睫。尽管中国是全球最大半导体消费市场,但本土化缺口明显,2023 年芯片自产率仅 20%、半导体设备国产化率为 35%、高端刻蚀机等关键领域国产化率不足 10%。随着国产晶圆厂的逆势扩张、海外制裁趋紧,本土半导体设备厂商有望扩大份额,预计2025年国产化率将达50%。 前面文章我们分析了国产半导体设备龙头之一的中微公司,今天我们继续深入研究半导体
    1.1万
    2024/11/26
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  • PVD设备经理常见面试问题
    一、设备技术及操作知识类:你能简述一下PVD工艺的基本原理及其在半导体制造中的应用吗?你如何评估和选择PVD设备的供应商?PVD设备中,哪些关键参数对薄膜质量影响最大?如何在PVD设备中控制膜层的厚度、均匀性以及附着力?
    2563
    2024/11/21
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  • 降低半导体金属线电阻的沉积和刻蚀技术
    01 介绍 铜的电阻率由其晶体结构、空隙体积、晶界和材料界面失配决定,并随尺寸缩小而显著提升。通常,铜线的制作流程是用沟槽刻蚀工艺在低介电二氧化硅里刻蚀沟槽图形,然后通过大马士革流程用铜填充沟槽。但这种方法会生出带有明显晶界和空隙的多晶结构,从而增加铜线电阻。为防止大马士革退火工艺中的铜扩散,此工艺还使用了高电阻率的氮化钽内衬材料。 我们可以使用物理气相沉积 (PVD) 以10至100电子伏特的高
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  • STM32 PVD掉电检测功能的使用方法
    在实际应用场景中,可能会出现设备电源电压异常下降或掉电的情况,因此,有时候需要检测设备是否掉电,或者在设备掉电的瞬间做一些紧急关机处理,比如保存重要的用户数据,记录运行时间,紧急通知其他平台等等。
    5489
    2024/03/12
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  • 全球半导体物理气相淀积设备供应商列表:国产厂商真心不多
    在半导体制造、封装领域会用到大量的成膜设备,技术路径多样、不一而足。我个人一般把半导体成膜设备分为三大类:1)化学气相淀积(CVD:Chemical Vapor Deposition)- 包含ALD;2)物理气相淀积(PVD:Physical Vapour Deposition);3)其它成膜设备。
    2063
    2023/10/01
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  • 思锐智能携旗下Beneq品牌亮相CIOE2021,探索从微观到宏观层面的ALD光学应用创新
    光学薄膜的应用十分广泛,从精密的光学仪器到光纤通讯、显示器、数码相机,乃至钞票上的防伪技术,均不乏其身影。
  • 物理气相沉积
    物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)是一种常用的薄膜制备技术,通过在真空环境中将固体材料加热至高温,使其蒸发或溅射形成蒸汽或离子态,并在衬底表面沉积成薄膜。这种技术广泛应用于工业、电子、光学、医疗等领域,为制备功能性材料和微纳结构提供了重要手段。本文将探讨物理气相沉积的定义、原理、过程、分类、应用。
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    06/03 08:08
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  • CVD工艺与物理气相沉积(PVD)相比有哪些优缺点
    化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)是两种常见的薄膜沉积技术,广泛应用于半导体、光电子、显示器件等领域。它们在材料沉积过程中采用了不同的原理和机制,各自具有一系列优点和缺点。
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    2024/08/16

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