射频检测器时通信系统和测量仪器中常用的一种关键器件。

1.什么是射频放电检测器

 

1.什么是射频放电检测器

(图片源于网络)

 

射频监测是诊断发电机异常情况的在线监测手段,在运行中的发电机内部由于定子绕组绝缘劣化、铜导线疲劳断裂或不同电位的部件之间的间隙减少等故障所引起的局部异常微电弧放电会在发电机的中性线上产生高频电压、电流。射频监测可以对这些高频电流特定频率成分与电平进行检测和识别。

 

2.射频放电检测器原理

两极间接上射频(5~30MHz,国际上多采用13.56MHz)电源后,两极间等离子体中不断振荡运动的电子从高频电场中获得足够的能量,并更有效地与气体分子发生碰撞,并使后者电离,产生大量的离子和电子,此时不再需要在高压下(10Pa左右)产生二次电子来维持放电过程,射频溅射可以在低压(1Pa左右)下进行,沉积速率也因此时气体散射少而较二极溅射为高;高频电场可以经由其他阻抗形式耦合进入沉积室,而不必再要求电极一定要是导体;由于射频方法可以在靶材上产生自偏压效应,即在射频电场作用的同时,靶材会自动处于一个较大的负电位下,从而导致气体离子对其产生自发的轰击和溅射,而在衬底上自偏压效应很小,气体离子对其产生的轰击和溅射可以忽略,主要是沉积过程。

 

3.射频放电检测器作用

近年来,射频溅射在研制大规模集电路绝缘膜、压电声光功能膜、化合物半导体膜及高温超导膜等方面有重要应用。