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EUV光刻机

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极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。收起

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    华为的麒麟990系列芯片、苹果手机的A14处理器(5纳米工艺)以及M1处理器以及三星的Exynos 9825处理器都是用EUV光刻机生产出来的。换句话说,7纳米以下的芯片,没有EUV光刻机造不出来!
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