EUV光刻机

加入交流群
扫码加入
获取工程师必备礼包
参与热点资讯讨论

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。收起

查看更多
  • ASML 2026Q2 售出了86台全新光刻系统及5台二手系统
    荷兰半导体设备巨头阿斯麦(ASML)2026年第二季度财报显示,受益于AI领域的持续投资和客户需求增加,营收与利润超出预期并上调全年业绩展望。AI需求推动逻辑和存储芯片需求增长,公司预计下半年和全年业绩进一步提升,同时宣布中长期产能倍增计划。
    1618
    07/15 14:27
    ASML 2026Q2 售出了86台全新光刻系统及5台二手系统
  • 绕过顶级EUV,晶圆一哥的底牌终于摊开
    台积电决定不采用High-NA EUV光刻机,而是通过自主研发的EUV光罩保护膜、GAAFET技术和协同微缩工艺,成功解决了芯片微缩的核心难题。台积电通过计算光刻、优化工艺和转移难度的方式,实现了高效可靠的芯片制造,保持了其在半导体行业的领先地位。
    绕过顶级EUV,晶圆一哥的底牌终于摊开
  • 手把手教你如何做EUV光刻机:从锡液滴到13.5纳米光,每一步都是工程极限
    EUV光刻机因其复杂的物理和工程挑战而成为半导体行业的垄断者,其高昂的成本源于光源、反射镜、光罩和光刻胶等多个环节的高精度要求。当前主要面临能量损耗、光学元件制造难度和光刻胶灵敏度等问题。尽管如此,仍有改进空间,例如使用更高效的光源、优化反射镜设计和开发新型光刻胶,有望降低成本并提高产量。
    4666
    04/20 14:46
  • 重大突破!ASML 27亿 天价光刻机曝光
    ASML宣布下一代High-NA EUV光刻机具备量产成熟度,售价4亿美元,预计2027-2028年大规模使用。该设备大幅提升了芯片制造精度,有助于AI芯片发展,但实际导入量产还需2-3年。随着旧时代的EUV逼近物理极限,High-NA EUV成为先进制程的关键工具,推动芯片制造向更精细方向发展。
    1369
    03/02 10:18
  • EUV光刻机,迎来重大突破!
    ASML宣布在EUV光刻机光源功率上取得突破,有望大幅提升芯片制造产能,预计到2030年每小时晶圆处理能力提升约50%,助力全球芯片供应链应对市场需求激增。此技术进展巩固了ASML在EUV领域的领先地位,对未来芯片制造效率提升具有重要意义。
    1433
    02/27 13:20