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EUV光刻机

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极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。收起

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  • High-NA EUV光刻机入场,究竟有多强?
    High-NA EUV光刻机入场,究竟有多强?
    光刻机一直是半导体领域的一个热门话题。从早期的深紫外光刻机(DUV)起步,其稳定可靠的性能为半导体产业的发展奠定了坚实基础;再到后来的极紫外光刻机(EUV)以其独特的极紫外光源和更短的波长,成功将光刻精度推向了新的高度;再到如今的高数值孔径光刻机(High-NA)正式登上历史舞台,进一步提升了光刻的精度和效率,为制造更小、更精密的芯片提供了可能。
  • 史上最大光刻机拆箱视频发布!
    史上最大光刻机拆箱视频发布!
    3月7日报道,最近英特尔芯片制造业务一片向好,状态可谓是春风得意、喜上眉梢,一大原因是,价值近4亿美元的全球第一台High-NA EUV光刻机已经进入了英特尔的工厂。
  • 2nm情结
    2nm情结
    一辆载着印有“ASML”LOGO保护箱的卡车驶入美国俄勒冈州(Oregon)的英特尔希尔斯伯勒(Hillsboro)园区。箱身上绑着红绳,并系了蝴蝶结,里面是荷兰ASML研制出的全球首台高数值孔径极紫外光刻机(High NA EUV)的一部分。
  • 没有EUV光刻机,也造不了5nm、3nm,国产芯片如何突破?
    没有EUV光刻机,也造不了5nm、3nm,国产芯片如何突破?
    潮流如暗流,迅猛而至,行业龙头也被冲击的手忙脚乱。当半导体加工的制程微缩游戏走到尽头,先进封装,逐渐成为芯片行业的胜负手。年初,任谁也料想不到,今年的半导体产业会如此的冰火两重天。在今年整个芯片行业由于去库存满目哀鸿遍野之际,英伟达的AI芯片却一颗难求,国内互联网大佬们亲自飞往英伟达总部加州,只为多求几颗A800和H800。
  • 美国官方报告:深度解析EUV光刻的现状、需求和发展
    美国官方报告:深度解析EUV光刻的现状、需求和发展
    2022年,半导体市场规模约为0.6万亿美元,商业分析师预计到2030年将翻一番1.0万亿美元至1.3万亿美元。半导体制造业的大幅增长可以在光刻工艺中体现出。光刻是一种图案化过程,将平面设计转移到晶圆基板的表面,创造复杂的结构,如晶体管和线互连。这是通过通过复杂的多步过程选择性地将光敏聚合物或光刻胶暴露于特定波长的光下来完成的。最近,光刻技术的进步在生产最先进的半导体方面创造了竞争优势,使人工智能(AI)、5G电信和超级计算等最先进的技术成为可能。因此,先进的半导体技术会影响国家安全和经济繁荣。
  • 光刻机国产替代任重道远
    光刻机国产替代任重道远
    日前,ASML 首席执行官 Peter Wennink 近日在接受路透社采访时表示,尽管供应商出现了一些阻碍,但公司仍会按照此前设定的计划,在今年年底之前交付 High NA EUV 机器。就此,一些自媒体认为,是国产EUV光刻机快要商用了,所以ASML决定松口卖机器。同时,网上盛传各种小道消息,言之凿凿国产光刻机就要逆袭了。
  • ASML EUV光刻机关键部件供应商TRUMPF落户深圳!
    ASML EUV光刻机关键部件供应商TRUMPF落户深圳!
    全球高端装备领域领先企业、全球光刻机巨头ASML的极紫外(EUV)光刻机的“drive laser”唯一供应商——德国通快集团(TRUMPF)宣布其在深圳的分公司成功开幕。
  • 不惧台积电砍单传闻,ASML第一季度新增16亿欧元EUV光刻机订单
    北京时间4月19日晚间,ASML发布2023年第一季度财报。财报显示,2023年第一季度,ASML实现了净销售额67亿欧元,毛利率为50.6%,净利润达20亿欧元。预计ASML 2023年第二季度的净销售额为65亿~70亿欧元,毛利率为50%~51%。相比2022年,今年ASML的净销售额有望增长25%以上。
  • 下一代EUV光刻机,关键技术拆解!
    imec高管深度专访:突破下一代EUV光刻机,要翻过“四堵墙”。世界顶级先进半导体研究机构比利时微电子研究中心(imec)近日发布一篇深度好文,详细解读了下一代EUV光刻机成像技术短期和长期的挑战及创新方向。
  • ASML:下一代EUV光刻机将于2025年首次部署
    2月15日,ASML发布2022年度财报。报告显示,ASML在2022年销售额达到212亿欧元,与2021年相比增长了13.8%,毛利率为49.7%。
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    2023/02/17
  • ASML的EUV光刻机新进展
    0.55 NA
    2581
    2022/12/20
  • 2nm、1nm全靠它!High-NA EUV光刻机2025年末将正式商用
    3纳米代工市场规模2026年将达到242亿美元,比今年(12亿美元)增加20倍以上。目前,三星电子是唯一一家宣布成功量产3纳米的企业。三星电子、台积电、英特尔等主要半导体企业开始引进EUV设备,随着工程技术的发展,预计3纳米将成为核心先进工艺
  • ASML今年下定了几个决心
    作为唯一一家控制着控制着半导体产业生命线的“EUV光刻机”的制造商,ASML对行业趋势的洞察力无疑超过了其他公司。在日前召开的投资者大会上,ASML对未来十年半导体产业的走势进行了透彻的分析和预测。从整个半导体行业的总价值来看,ASML直接引用了SEMI、TechInsights和麦肯锡三家分析公司的数据,其2030市场规模在1万亿到1.3万亿美元之间。目前的总价值约为6000亿美元,所以从目前的预测来看,无论如何,半导体市场的规模在十年内还会再翻一番。
  • 与非晚报 | 三季度全球平板电脑出货增长超20%;华为公开EUV光刻新专利
    DIGITIMES:2022 三季度全球平板电脑出货3840台,环比增长超20% 11 月 21 日,国外媒体发布数据显示,2022 年第三季度全球平板电脑出货量达到3840万台,环比增长超20%。 数据增长主要得益于苹果订单的增加,此外其他品牌的订单也有部分增长。不过受限于全球消费市场的萎缩与经济疲软,该媒体表示预计第四季度全球平板电脑出货量将环比下降 9%。 传台积电拿下特斯拉辅助驾驶(FSD)芯片大单 11月21日消息,传台积电将取代三星,拿下特斯拉新世代全自动辅
  • 又是它,一个文件害惨中国半导体
    又是它,一个文件害惨中国半导体
    瓦森纳协定是国际上最大的出口管制组织之一。该协定成立的初衷是为了防止武器扩散、反对恐怖主义,现如今已经彻底沦为美国限制中国的“私人工具”。
  • EUV光刻的竞争者摩拳擦掌
    随着半导体制程节点的微缩,光刻机的行业地位不断提升,7nm制程芯片量产之前,DUV光刻机几乎统治了商业化芯片制造市场,随着7nm、5nm和3nm的陆续量产,EUV光刻机的比重日益提升,也成为了先进制程芯片龙头企业争夺的焦点。
  • EUV光刻机迎末路?ASML都不看好了
    近日,全球最大的光刻机设备供应商荷兰阿斯麦(ASML)的首席技术官Martin van den Brink表示,目前ASML正在有序地推行着此前制定的路线图,之后EUV技术将升级为High-NA EUV技术。准备在明年,向客户交付首台High-NA EUV光刻机。
  • 替代EUV光刻机,有戏吗?
    除了积极跟踪EUV光刻机的开发进程,芯片厂商也在寻找能够替代EUV光刻机的技术。被寄予厚望的不仅仅是电子束光刻技术。铠侠力推NIL压印工艺,声称有望在2025年实现5nm工艺;台积电采用DUV光刻技术同样实现了7nm工艺,并声称DUV光刻技术可以也可以实现5nm工艺。
  • EUV成电老虎,台积电将ESG压力传递给每一位供应商
    近日,业界传出台积电将关停四台EUV光刻机的消息。有人将该消息和消费电子行业低迷,联发科、AMD、高通、英伟达等行业巨头纷纷下达砍单的行为联系到一起...
  • 供电老大难!新EUV光刻机为什么是“电力黑洞”
    高能耗带来的电力危机,注定是半导体制造业绕不开的问题。如何省电,将成为芯片制造业的一大挑战。
    2586
    2022/09/04

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