ASML的DUV光刻机型号汇总

前两期的文章中我们介绍了ASML的G线，i线，EUV光刻机的型号，见文章：ASML的光刻机型号汇总(上)；ASML的EUV光刻机型号汇总

今天我们来介绍一下，ASML的DUV光刻机的型号。

DUV是什么？

DUV（Deep Ultraviolet），深紫外光刻，是介于Vacuum UV（157nm，F2）与UV（365nm，i line）之间的光线，一般是指KrF(248nm),ArF(193nm)两种波长。而浸没式光刻机则以ArF为主，浸没式光刻机晶圆与透镜之间引入高折射率的液体（如水），大大提高了光刻分辨率和焦深。

ASML的DUV是TWINSCAN NXT，XT系列产品。

NXT系列产品有：1965Ci，1980Di，1980Fi，2000i，2050i，2100i，因时间有限，大家可以去自行搜集其相关机台型号，参数。

欢迎加入我的半导体制造知识星球社区，目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑，上千个半导体行业资料共享，内容比文章丰富很多很多，适合快速提升半导体制造能力，介绍如下：     《欢迎加入作者的芯片知识社区！》