ASML的光刻机型号汇总(上)

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：ASML的光刻机有哪些型号，最近要做相关的报告，麻烦帮忙总结下。ASML，全名 ASML Holding NV,荷兰跨国公司，成立于 1984 年。是半导体行业最大的设备供应商，也是全球唯一一家生产极紫外光刻机(EUV) 的厂商。

ASML的光刻机经历了几个阶段：

PAS 2000：首次引入自动步进对准技术。

PAS 5000：提高分辨率和叠层精度。

PAS 5500，1991年发布：实现扫描式光刻，提升生产效率。

Twinscan XT,NXT ：双工作台技术，显著提高WPH。

Twinscan NXE EUV，2013年推出：采用极紫外光刻（EUV），支持亚20 nm制程节点。

根据型号不同我单独做了一个表格：

由于工作量巨大，只上传了G线，i线系列，下一期会将Twinscan中常见的ArF浸没式，EUV光刻机罗列出来。

欢迎加入我的半导体制造知识星球社区，目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑，上千个半导体行业资料共享，内容比文章丰富很多很多，适合快速提升半导体制造能力，介绍如下：     《欢迎加入作者的芯片知识社区！》