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光刻机

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光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。收起

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  • 光刻机分类
    光刻机分类
    光刻机按光源类型可分为五类:I-line光刻机、KrF光刻机、ArF光刻机、ArFi光刻机(即ArF浸没式光刻机,与ArF光刻机相比在曝光过程中在投影物镜和晶圆之间放置了一层水膜)、EUV光刻机。按照应用领域可分为IC前道光刻机和IC后道光刻机。其中,IC前道光刻机主要应用于芯片制造,而后道光刻机主要用于芯片封装。
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    07/25 08:25
  • ASML的光刻机型号汇总(上)
    ASML的光刻机型号汇总(上)
    学员问:ASML的光刻机有哪些型号,最近要做相关的报告,麻烦帮忙总结下。ASML,全名 ASML Holding NV,荷兰跨国公司,成立于 1984 年。是半导体行业最大的设备供应商,也是全球唯一一家生产极紫外光刻机(EUV) 的厂商。
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    重大会议终于闭幕了,昨天发布的《决定》提出,“完善民营企业参与国家重大项目建设长效机制,支持有能力的民营企业牵头承担国家重大技术攻关任务”,这是国家对民营企业的攻坚能力前所未有地高度肯定,也是对新型举国体制的最新表述。
  • 光刻机巨头在中国赚麻了!3个月卖了180亿
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    7月17日报道,荷兰光刻机霸主阿斯麦(ASML)今日公布最新季度业绩,不出意外,在中国强劲销售的带飞下,赚麻了。此前美国为阻碍中国企业获得先进的芯片生产设备,用政策施加重重障碍,包括在今年年初向荷兰施压,禁止对华出口阿斯麦第二大机器类别——浸没式DUV光刻机。
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    07/18 09:50
  • ASML主流光刻机型号参数汇总
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    前一阵子,半导体行业的一个重大消息就是ASML向英特尔出货了第一台 NA值为0.55的EUV光刻机。当时这也多少在圈子里掀起一些波澜,但我当时忙于其它事情,一直没有顾上去整理相关数据最近两天在准备发布公众号新数据的时候,正考虑还能发啥,便想起了这个茬,于是便打开了ASML的官网...