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处理器史话 | 处理器厂商的绝密武器之工艺之争

2016/08/26
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经过了前文的叙述和讲解,从第一款 Intel 4004,到当下最新潮的 Core i7,相信大家已经对不同阶段、不同品牌处理器及其的架构有所了解,或者有了新的认识。在他们当中虽然有着不尽如人意的地方,但每一代都是经典的。


所以,本文到了这里,有必要对这些处理器做个小结:正是处理器架构的发展推动着整个芯片产业的进步。由此看来无论是 Intel 还是 AMD,又或者是其他芯片厂商,都是伟大的——正是有了他们的不屑努力,才让电子行业飞速的发展着。


那么,除了架构之外,是否还有其他的因素,在推动着处理器及整个芯片产品的进步和发展呢?


答案是肯定的,还有其他三个要素:效率、功耗和工艺。


因此,各芯片厂商在努力推出新架构的同时,也在上述三个方面做足了功夫。但是毫无疑问,在芯片性能的评价方面,架构是首要考虑的因素。现在,不妨改变一下思路,换个角度,将各品牌处理器进行横向的对比,来探究各厂商在设计方面的“攻芯计”,同时欣赏一场精彩纷呈的 CPU 之争。


3.1 工艺之争
什么是工艺?工艺可以决定什么?


在解释 CPU 的生产工艺之前,有必要知道一个问题:CPU 是怎么被制造出来的。


1. 芯片的制造流程
简单来说,CPU 的生产过程分为如下的 7 个步骤,如下图所示:
 


CPU 的制作工艺流程


CPU 的制作,是个相当复杂的流程,详情可以查阅相关的资料,在这里对照上图,对各环节的要点简单进行描述:


第 1 步:硅提纯
生产 CPU 等芯片的材料是半导体,现阶段主要的材料是硅 Si,原材料为常见的沙子,硅将被熔化,并放进一个巨大的石英熔炉。这时向熔炉里放入一颗晶种,以便硅晶体围着这颗晶种生长,直到形成一个几近完美的单晶硅。整体基本呈圆柱形,重约 100 千克,硅纯度 99.9999%。


第 2 步:切割晶圆
硅锭造出来了,并被整型成一个完美的圆柱体,接下来将被切割成片状:用机器从单晶硅棒上切割下一片事先确定规格的硅晶片,并将其划分成多个细小的区域,每个区域都将成为一个 CPU 的内核(Die)。因为硅锭是圆的,所以切片也是圆形的,称为晶圆。
晶圆才被真正用于 CPU 的制造,一般来说,晶圆切得越薄,相同量的硅材料能够制造的 CPU 成品就越多。


第 3 步:影印(Photolithography)
在经过热处理得到的硅氧化物层上面涂敷一种光阻(Photoresist)物质,紫外线通过印制着 CPU 复杂电路结构图样的模板照射硅基片,被紫外线照射的地方光阻物质溶解。
而为了避免让不需要被曝光的区域也受到光的干扰,必须制作遮罩来遮蔽这些区域。这是个相当复杂的过程,每一个遮罩的复杂程度得用 10GB 数据来描述。


第 4 步:蚀刻(Etching)
这是 CPU 生产过程中重要操作,也是 CPU 工业中的重头技术。蚀刻技术把对光的应用推向了极限。蚀刻使用的是波长很短的紫外光并配合很大的镜头。短波长的光将透过这些石英遮罩的孔照在光敏抗蚀膜上,使之曝光。接下来停止光照并移除遮罩,使用特定的化学溶液清洗掉被曝光的光敏抗蚀膜,以及在下面紧贴着抗蚀膜的一层硅。


然后,曝光的硅将被原子轰击,使得暴露的硅基片局部掺杂,从而改变这些区域的导电状态,以制造出 N 井或 P 井,结合上面制造的基片,CPU 的门电路就完成了。

 


第 5 步:重复、分层
为加工新的一层电路,再次生长硅氧化物,然后沉积一层多晶硅,涂敷光阻物质,重复影印、蚀刻过程,得到含多晶硅和硅氧化物的沟槽结构。重复多遍,形成一个 3D 的结构,这才是最终的 CPU 的核心。


每几层中间都要填上金属作为导体。Intel 的 Pentium 4 处理器有 7 层,而 AMD 的 Athlon 64 则达到了 9 层。层数决定于设计时 CPU 的布局,以及通过的电流大小。下图为 IC 晶片电路的 3D 效果图。


IC 晶片的 3D 剖面图 (Source:Wikipedia)


第 6 步:封装
这时的 CPU 是一块块晶圆,它还不能直接被用户使用,必须将它封入一个陶瓷的或塑料的封壳中,这样它就可以很容易地装在一块电路板上了。封装结构各有不同,但越高级的 CPU 封装也越复杂,新的封装往往能带来芯片电气性能和稳定性的提升,并能间接地为主频的提升提供坚实可靠的基础。


第 7 步:测试
试是一个 CPU 制造的重要环节,也是一块 CPU 出厂前必要的考验。这一步将测试晶圆的电气性能,以检查是否出了什么差错,以及这些差错出现在哪个步骤(如果可能的话)。接下来,晶圆上的每个 CPU 核心都将被分开测试。

  •  每块 CPU 将被进行完全测试,以检验其全部功能:
  •  某些 CPU 能够在较高的频率下运行,所以被标上了较高的频率;
  •  而有些 CPU 因为种种原因运行频率较低,所以被标上了较低的频率。

最后,个别 CPU 可能存在某些功能上的缺陷,如果问题出在缓存上,制造商仍然可以屏蔽掉它的部分缓存,这意味着这块 CPU 依然能够出售,只是它可能是 Celeron 等低端产品。
当 CPU 被放进包装盒之前,一般还要进行最后一次测试,以确保之前的工作准确无误。根据前面确定的最高运行频率和缓存的不同,它们被放进不同的包装,销往世界各地。


在了解 CPU 的生产过程之后,问题也随之而来:
随着生产工艺的进步,CPU 应该是越做越小?可为什么现在 CPU 好像尺寸并没有减少多少,那么是什么原因呢?


实际上 CPU 厂商很希望把 CPU 的集成度进一步提高,同样也需要把 CPU 做得更小,但是因为现在的生产工艺还达不到这个要求。

 


2. CPU 的生产工艺
生产工艺这 4 个字到底包含些什么内容呢,这其中有多少高精尖技术的汇聚,CPU 生产厂商是如何应对的呢?下面将根据上面 CPU 制造的 7 个步骤展开叙述,来一起了解当今不断进步的 CPU 生产工艺。


1) 晶圆尺寸
硅晶圆尺寸是在半导体生产过程中硅晶圆使用的直径值。硅晶圆尺寸越大越好,因为这样每块晶圆能生产更多的芯片。请看下面的数据对比:


对比数据 1:同样使用 0.13 微米的制程

晶圆直径(mm)

处理器数量(个)

面积比值

数量比值

200(8 寸)

约 179

 

 

300(12 寸)

约 427

2.25 倍

2.385 倍

 


但是在成本方面,300mm 晶圆实际的成本并不会比 200mm 晶圆来得高多少,这就意味着使用大尺寸的晶圆,会带来更高的性价比,因此,芯片生厂商自然不会放弃这个商机。
既然大尺寸的晶圆这么受欢迎,那么是否可以把晶圆直径做的尽量大些呢?


答案是:不可以。


这是由于硅晶圆具有的一个特性——在晶圆生产过程中,离晶圆中心越远就越容易出现坏点,坏点从硅晶圆中心向外扩展,数量呈上升趋势。见下图所示:


集成芯片的硅晶圆图像


在硅晶圆图示中,用黄点标出的地方是表示这个地方存在一定缺陷,或是在硅晶圆被蚀刻入的晶体管起不了任何作用,这一切是由于制造技术限制而造成的,任何一个存在上面问题的芯片将因不能正常工作而被报废。上图中,一块硅晶圆中蚀刻了 16 个晶体管,但其中 4 个晶体管存在缺陷,因此不得不把 16 个芯片中的 4 个报废掉(即占这块硅晶圆的 1/4 )。


如果这块硅晶圆代表生产过程中生产的所有硅晶圆,这意味着废品率就是 1/4,这种情况将导致制造成本的上升。

 


正式由于这个特性限制了硅晶圆的尺寸,因此芯片生产厂商无法随心所欲地增大晶圆尺寸。


总的来说,一套特定的硅晶圆生产设备所能生产的硅晶圆尺寸是固定的,如果对原设备进行改造来生产新尺寸的硅晶圆的话,花费的资金是相当惊人的,这些费用几乎可以建造一个新的生产工厂。不过,半导体生产商们也总是尽最大努力控制晶圆上坏点的数量,生产更大尺寸的晶圆。


以 Intel 的产品为例,各产品使用晶圆尺寸的信息表如下:

CPU 型号

晶圆尺寸(mm)

8086

50

Pentium 4

200

Pentium 4 Prescott

300


Intel、三星、台积电已经于 2012 年投产 450mm(18 寸)晶圆,450mm 晶圆无论是硅片面积还是切割芯片数都是 300mm 的两倍多,因此每颗芯片的单位成本都会大大降低。另外,大尺寸晶圆还会提高能源、水等资源的利用效率,减少对环境污染、温室效应全球变暖、水资源短缺的影响。在历史上,转移至更大的晶圆直径带来了每单位尺寸 20%以上的成本降低幅度。不过庞大的财务与技术障碍,仍持续阻碍半导体制造往 450mm 晶圆的发展与转移;因此产业界往更大尺寸晶圆发展的脚步显着趋缓,各家半导体业者也积极将 12 寸(300mm)与 8 寸(200mm)晶圆的利用效益最大化。

4 种尺寸晶圆的比较 (Source:Wikipedia)


2) 蚀刻尺寸
蚀刻尺寸是制造设备在一个硅晶圆上所能蚀刻的一个最小尺寸,这个尺寸是在最小的晶体管的尺寸,因此是 CPU 核心制造的关键技术参数。


在制造工艺相同时,晶体管越多处理器内核尺寸就越大,一块硅晶圆所能生产的芯片的数量就越少,每颗 CPU 的成本就要随之提高。反之,如果更先进的制造工艺,意味着所能蚀刻的尺寸越小,一块晶圆所能生产的芯片就越多,成本也就随之降低。


继续以 Intel 的产品为例,各产品使用蚀刻尺寸的信息表如下:

CPU 型号

蚀刻尺寸(μm)

8086

3

Pentium

0.80

Pentium 4

0.09


现在回顾一下前面的内容,Intel 从第五代智能 Core 处理器的 Broadwell 开始,便使用了 14nm 工艺,至于这个尺寸可以持续多久,何时被突破,请大家拭目以待。

 


此外,每一款 CPU 在研发完毕时其内核架构就已经固定了,后期并不能对核心逻辑再作过大的修改。因此,随着频率的提升,它所产生的热量也随之提高,而更先进的蚀刻技术另一个重要优点就是可以减小晶体管间电阻,让 CPU 所需的电压降低,从而使驱动它们所需要的功率也大幅度减小。所以看到每一款新 CPU 核心,其电压较前一代产品都有相应降低,又由于很多因素的抵消,这种下降趋势并不明显。


通过前文,大家已经获悉:蚀刻这个过程是由光完成的,所以用于蚀刻的光的波长就是该技术提升的关键,下表为各光线的波长及对应的制程。

光的名称

波长(nm)

制程

氪 / 氟紫外线

248.9

0.18um 和 0.13um

氩 / 氟紫外线

193.0

90nm

超短紫外光

13.5

10nm

 

90nm 的晶体管到底有多小呢,请看下图:


90nm 的晶体管大小(左)与流行感冒病毒的大小(右)比较


3. Intel 与其他芯片厂商在生产工艺上的 PK
以上两点就是 CPU 制造工艺中的两个因素决定,也是基础的生产工艺,这里以两个 CPU 巨头的 PK 来进一步解释 CPU 的工艺之争。


1) Intel 与 AMD 在 0.25 微米制程上的 PK
Intel 是全球制造技术最先进且拥有工厂最多的公司,Intel 有 10 家以上的工厂做 CPU,它掌握的技术也相当多。


AMD 和 Intel 相比则是一家小公司,加上新工厂 Fab36,它有 3 家左右的 CPU 制造工厂。同时 AMD 没有能力自己研发很多新技术,它主要是通过战略合作关系获取技术。


AMD 和 Intel 在技术上处于同一水平,不过在向 0.18 微米转移时落在了后面。在感觉无法独自赶上 Intel 之后,AMD 和摩托罗拉建立了战略合作伙伴关系。摩托罗拉拥有很多先进的电子制造技术,用于 Apple 电脑 PowerPC 的芯片 HiPerMOS7(HiP7)就是他们完成的;AMD 在获得授权后一下子就拥有了很多新技术,其中部分技术甚至比 Intel 的 0.13 微米技术还要好。


现在 AMD 选择了 IBM 来共同开发 65 纳米和 45 纳米制造技术。它选择的这些都是相当有前景的合作伙伴,特别是 IBM,一直作为业界的技术领袖,它是第一个使用铜互连、第一个使用低 K 值介电物质、第一个使用 SOI 等技术的公司。AMD 获得的大多数技术很先进,而且对生产设备的要求不高,生产成本控制的很低,这也是 AMD 的优势。


AMD 的新工厂 Fab36 中采用的 APM 3.0 (Automated Precision Manufacturing)技术,可进一步实现制造的自动化,效率化。同时 AMD 还建造了自己的无尘实验室。
至于 PK 的结果,不言自明。


2) 在金属互连层上 PK
回顾在芯片的制作流程中的“重复、分层”,知道了不同 CPU 的内部互连层数是不同的。这和厂商的设计是有关的,但它也可以间接说明 CPU 制造工艺的水平。


在这项设计方面,Intel 在这方面已经落后了:

  • 当他们在 0.13 微米制程上使用 6 层技术时,其他厂商已经使用 7 层技术了;
  • 当 Intel 准备好使用 7 层时,IBM 已经开始了 8 层技术;
  • 当 Intel 在 Prescott 中引人 7 层带有 Low k 绝缘层的铜连接时,AMD 已经用上 9 层技术了。
  • 更多的互连层可以在生产上亿个晶体管的 CPU(比如 Prescott)时提供更高的灵活性。下图为 7 层金属铜互连技术显微图片:


7 层金属铜互连技术显微图片


为什么要强调这个金属互连层呢?


因为在芯片的加工过程,当晶体管的尺寸不断减小而处理器上集成的晶体管又越来越多,连接这些晶体管的金属线路就更加重要了。特别是金属线路的容量直接影响信息传送的速度。


在 90 纳米制程上,Intel 推出了新的绝缘含碳的二氧化硅来取代氟化硅酸盐玻璃,并同时表示这可以增加 18%的内部互连效率。


直到此时,在这一轮的 PK 中,Intel 总算找回来一些面子。
 

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之一:第一款处理器之谜

之二:处理器的春秋战国时代:8 位处理器的恩怨与纷争(上)

之三:处理器的春秋战国时代:8 位处理器的恩怨与纷争(下)

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之五:处理器的三国时代:DR 公司盛气凌人,IBM 转身成就微软

之六:32 位处理器的攻“芯”计:英特尔如何称霸 PC 江湖?

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AMD公司成立于1969年,总部位于美国加利福尼亚州桑尼维尔。AMD(NYSE: AMD)是一家创新的科技公司,致力于与客户及合作伙伴紧密合作,开发下一代面向商用、家用和游戏领域的计算和图形处理解决方案。

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1996毕业于华东理工大学自控系,同年7月进入某大型国企担任电气员。2000年转行从事硬件研发相关工作;后从事RFID相关产品的研发、设计,曾参与中国自动识别协会RFID行业标准的起草;历任硬件工程师、主管设计师、项目经理、部门经理;2012年至今,就职于沈阳工学院,担任电子信息工程专业教师,研究方向:自动识别技术。已经出版教材《自动识别技术概论》,职场故事《51的蜕变 》。