行业知识 | 半导体制造外延、CVD、ALD用特气汇总表

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我公众号一直在发布全球半导体供应链的厂商名单数据，但周一发了一个光刻机型号参数的数据后发现也颇受欢迎。所以受此启发，我打算今天继续换个花样，发布一些其它数据之前我整理电子特气供应商数据的时候，雄心勃勃地找了不少资料，整理了一个各种特气、前驱体的种类以及在半导体制造里的应用。数据量不小，但之前很少发布，所以今天就再公布一下，供大家参考由于表格非常大，所以今天挑选其中外延、CVD/ALD领域先展示一下（刻蚀、离子注入、扩散等应用数据以后择机发布）即便如此，这个表格也太大了，我只能进一步做大量压缩：比如介质层供Oxide、Si3N4、SiON、SiCO:H、Gate5种；金属/阻挡实际有10多种；High-K材料有9种 ... 现在都只能合并成一列，以确保表格能够在手机上正常显示本文表格数据的完整版原始EXCEL文档，我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。