芯耀
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1 、引言
栅线作为太阳能电池片收集与传输光生载流子的核心结构，其高宽比（高度与宽度的比值）直接决定电池的串联电阻、光学遮蔽损失及光电转换效率。高宽比不足会导致载流子传输路径电阻增大，能量损耗增加；过高则易引发栅线断裂、印刷缺陷等问题。传统栅线测量方法多侧重二维尺寸检测，难以精准获取三维高宽比参数，无法满足高效太阳能电池片的工艺管控需求。3D白光干涉仪凭借非接触测量特性、纳米级分辨率及三维形貌重建能力，可快速精准提取栅线高度与宽度数据，实现高宽比的全面量化。本文重点探讨3D白光干涉仪在太阳能电池片栅线高宽比测量中的应用。
2 、3D白光干涉仪测量原理
3D白光干涉仪以宽光谱白光为光源，经分束器分为参考光与物光两路。参考光射向固定参考镜反射，物光照射至待测太阳能电池片栅线表面后反射，两束反射光汇交产生干涉条纹。因白光相干长度极短（仅数微米），仅在光程差接近零时形成清晰干涉条纹。通过压电陶瓷驱动装置带动参考镜进行精密扫描，高灵敏度探测器同步采集干涉条纹强度变化，形成干涉信号包络曲线，曲线峰值位置精准对应栅线表面各点高度坐标。结合像素级高度计算与二维扫描拼接技术，可完整重建栅线三维轮廓，精准提取栅线高度（栅线顶部与电池片基底的高度差）和宽度（栅线底部或顶部的水平跨度）参数，进而计算高宽比，其垂直分辨率可达亚纳米级，适配微米级栅线的高精度测量需求。
3 、3D白光干涉仪在栅线高宽比测量中的应用
3.1 栅线高宽比精准量化
针对太阳能电池片微米级栅线（宽度20-50 μm、高度10-30 μm）的高宽比测量需求，3D白光干涉仪可通过优化测量参数实现精准量化。测量时，选取适配的视场范围与物镜倍率，对栅线区域进行全域扫描，通过三维轮廓重建获取栅线完整的高度分布数据。采用轮廓阈值分割算法，以电池片基底为基准面，提取栅线顶部最高点高度值；以基底与栅线侧壁的交点为边界，计算栅线底部宽度值，进而自动计算高宽比。实验数据表明，其高度测量误差≤0.2 μm，宽度测量误差≤0.5 μm，高宽比计算精度可达0.01，可有效捕捉丝网印刷工艺中浆料粘度、印刷压力变化导致的高宽比波动，为工艺参数优化提供精准量化依据。同时，支持多根栅线的连续扫描测量，实现电池片全表面栅线高宽比的均匀性评估。
3.2 栅线形貌缺陷同步检测
太阳能电池片栅线制备过程中易出现的细腰、断栅、边缘毛刺、高度不均等缺陷，会直接影响高宽比稳定性与载流子传输效率。3D白光干涉仪在测量高宽比的同时，可通过三维轮廓重建同步识别此类缺陷。当检测到栅线局部宽度缩减超过30%（细腰）、高度突变超过5 μm，或边缘毛刺高度超过2 μm时，可判定为不合格产品。通过缺陷的尺寸、位置量化分析，可追溯印刷网版精度、浆料流动性等制备环节的问题。例如，当出现大面积栅线高度不足导致高宽比偏低时，可反馈调整印刷压力或浆料固含量参数，提升栅线成型质量。
4 、测量优势与应用价值
相较于传统光学显微镜的二维测量局限，3D白光干涉仪可提供完整的栅线三维形貌信息，实现高宽比的精准量化；相较于触针式测量仪，其非接触测量模式可避免划伤栅线表面、破坏电池片涂层，保障样品完整性。同时，其具备快速扫描能力（单根栅线测量时间≤2 s），可满足太阳能电池片产业化批量检测需求。通过为栅线高宽比测量提供精准、全面的量化数据及缺陷检测结果，3D白光干涉仪可助力构建电池片制备工艺的严格质量管控体系，提升产品良率与光电转换效率，为高效太阳能电池的产业化发展提供关键技术支撑。
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（以上数据为新启航实测结果）
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