芯耀
150
1、引言
在半导体中小规模量产测试、常规器件验证及成本可控型晶圆筛选领域，探针台的性价比、操作便捷性与基础运行稳定性直接决定生产效益。东京精密（TOKYO SEIMITSU）作为全球探针台领域的领军企业，其Vega系列Light Vega型号探针台融合了轻量化机身设计、精准对准技术及基础联网功能，凭借高性价比、操作简化及宽晶圆兼容优势，成为中低端量产及科研实验场景的优选设备。该型号适配6-12英寸晶圆测试，支持常温测试条件，可灵活满足常规IV/CV参数测试、中小规模晶圆接受测试（WAT）及基础器件可靠性验证等场景需求。对于二手经济型探针台，采购方既关注核心性能达标情况，也重视测试过程的公正性与透明度。为此，海翔科技在东京精密Vega系列Light Vega二手探针台现场验机过程中，构建全流程监督机制，确保测试流程规范、数据真实可靠，切实保障采购方权益。
2、 测试对象基本信息
本次测试对象为东京精密Vega系列Light Vega二手探针台，设备核心配置包括高刚性真空吸附卡盘、静音XYZ三轴驱动平台、高精度光学对准系统、高清工业相机及Light Vega基础网络模块，支持半自动测试模式与简易产线数据联动，适配6-12英寸晶圆及各类常规封装器件测试需求，卡盘平整度≤4μm，探针重复定位精度≤±1.5μm，可实现200mm/s平台移动，满足中小规模集成电路IV/CV参数测试、常规晶圆接受测试及基础器件可靠性验证等核心应用场景。
结合SEMI S2半导体设备安全标准及Vega系列Light Vega原厂性能规范，本次现场验机确立“监督要点+测试指标”双核心体系。全程监督要点涵盖三方面：一是环境合规性监督，重点核查测试环境温湿度、洁净度及防震条件是否符合经济型量产探针台运行要求；二是流程规范性监督，跟踪测试全流程操作及基础网络模块校准过程是否契合标准规程；三是数据真实性监督，确保测试原始记录、基础联网上传数据完整可追溯、无篡改。核心测试指标设定四类：定位与对准精度、接触稳定性、真空吸附性能及系统运行稳定性，合格阈值参考原厂标准确定，具体为：重复定位误差≤±1.5μm、视觉对准误差≤±0.8μm、接触电阻≤2Ω、真空度≥5×10⁻⁵ Torr，连续测试无故障运行时长≥3小时。
3、测试环境与监督准备
现场验机环境严格遵循经济型探针台运行规范，控制环境温度23±3℃、相对湿度40%-60%RH，采用防震工作台避免振动干扰，测试区域符合ISO Class 5洁净标准。测试辅助设备包括高精度激光干涉仪、微电阻测试仪、宽量程真空计及12英寸标准测试晶圆，所有设备均经第三方权威机构计量校准合格并提供校准证书。监督准备阶段，海翔科技组建由技术专家与监督专员组成的专业小组，重点核查Light Vega基础网络模块的通讯稳定性，明确分工职责，制定含环境参数、操作步骤、数据记录及基础联网校验的全要素监督记录表，同步向采购方公示测试流程、监督细则及指标阈值，确保监督过程公开透明。
测试与监督同步推进，全流程分为四阶段：第一阶段为定位与对准精度测试，监督人员全程核查激光干涉仪校准操作，跟踪XYZ轴各12个测试点的重复测量过程（每个点测量18次），同步记录高精度光学对准系统的标记点识别与定位操作；测试结果显示，设备重复定位误差X轴±1.1μm、Y轴±1.2μm、Z轴±1.0μm，视觉对准误差≤±0.6μm，均优于合格标准。第二阶段为接触稳定性测试，监督人员验证四线法测试连接规范性，跟踪120个测试点的接触电阻测量，确保探针接触操作标准，实测接触电阻均值1.6Ω，符合≤2Ω的要求。第三阶段为真空吸附性能测试，监督人员实时监测真空计数据记录及基础联网上传过程，持续跟踪45分钟真空保持状态，设备真空度稳定在4×10⁻⁵ Torr，满足吸附稳定性要求。第四阶段为系统运行稳定性测试，监督人员全程记录3小时连续测试循环（含晶圆半自动装载、对准、测试、卸载及数据联网上传）的设备运行状态，重点监测驱动平台的运行稳定性、基础网络模块通讯连续性，设备无故障停机，测试数据重复率达99.6%，联网数据传输无丢包。整个过程中，监督人员每阶段签署监督记录并同步至采购方，确保测试与监督痕迹可追溯。
海翔科技 —— 深耕二手半导体设备领域的专业领航者，凭借深厚行业积累，为客户打造一站式设备及配件供应解决方案。
在半导体前段制程领域，我们拥有海量优质二手设备资源，精准匹配芯片制造的关键环节需求；后道封装设备板块，丰富的设备品类覆盖封装全流程，助力客户降本增效。
我们还提供齐全的二手半导体专用配件，从核心部件到精密耗材，为设备稳定运行保驾护航。海翔科技，以多元产品矩阵与专业服务，为半导体产业发展注入强劲动力。
