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微型机电系统

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微型机电系统（Micro Electro Mechanical System: MEMS）是指那些外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成元件是微米量级的可控制、可运动的微型机电装置，它是自微电子技术问世以来，人们不断追求高新技术微型化的必然结果。

微型机电系统（Micro Electro Mechanical System: MEMS）是指那些外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成元件是微米量级的可控制、可运动的微型机电装置，它是自微电子技术问世以来，人们不断追求高新技术微型化的必然结果。收起

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  • 微型机电系统
    微型机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS），是一种融合了微观加工技术、电子技术和机械加工技术的多学科交叉技术领域。它基于薄膜加工技术，将微小机械器件、传感器、执行器、电子电路及其他相关部件集成在同一晶片上。
    2660
    2023/03/23
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