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静电吸盘

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静电吸盘（Electrostatic Chuck，ESC）是一种利用静电力吸附晶圆（wafer）于基座上的夹持装置，广泛应用于等离子蚀刻（Etch）、离子注入（Implant）等真空环境下的晶圆制程工艺中。

静电吸盘（Electrostatic Chuck，ESC）是一种利用静电力吸附晶圆（wafer）于基座上的夹持装置，广泛应用于等离子蚀刻（Etch）、离子注入（Implant）等真空环境下的晶圆制程工艺中。收起

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  • 万万没想到，静电卡盘的项目也开始卷了
    我还是低估了国内半导体项目创业的内卷程度了静电卡盘的项目在几年前可是超级香饽饽，而今年年初我在统计相关供应商的时候就发现国内出现太多相关项目了当时我已经在感叹这个行业也开始内卷。可是最近我在整理设备陶瓷零部件的时候，发现数据库里又新增了好几家供应商。
    1140
    2025/07/01
    电子零部件 静电吸盘
    万万没想到，静电卡盘的项目也开始卷了
  • 什么是静电吸盘（ESC）？
    静电吸盘（Electrostatic Chuck，ESC）是一种利用静电力吸附晶圆（wafer）于基座上的夹持装置，广泛应用于等离子蚀刻（Etch）、离子注入（Implant）等真空环境下的晶圆制程工艺中。
    1.3万
    2025/05/09
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