芯耀
与非AI
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一家给凝聚态物理实验室造工具的公司，正在把这套工具搬进晶圆厂。
| 从复旦实验室出发的十二年
2026年9月28日，上海证监局披露：费勉科技(上海)股份有限公司启动A股IPO辅导备案，辅导机构华泰联合证券。
这家2014年创立于上海的公司名字取自物理学家费米，核心团队是三位复旦大学凝聚态物理博士——董事长赵嘉峰深耕精密仪器研发，CEO欧宏炜负责管理，CTO谢斌平主攻半导体装备技术。
十余年下来它只做一件事：为先进电子材料的"研发—制备—量测"全流程提供国产的高端仪器设备。
| 四个技术底座，撑起国产高端仪器
超高真空是物理起点。
分子束外延、表面分析与薄膜沉积都要在接近外太空真空度的腔体里进行——哪怕残留一个单分子层杂质气体落在生长中的晶格上，整层外延就废了。费勉的超高真空互联系统分圆形传样与直线互联两种形态，可自由搭配，让样品全程不破真空地在生长、加工、表征腔室之间流转。清华、南科大采购的正是这类设备。
低温技术的主线是无液氦电制冷。
超导、拓扑态、量子相变都发生在低温区间，传统方案靠浸泡液氦降温，而氦气是中国几乎完全依赖进口的战略稀缺资源。费勉用GM制冷机替代液氦做冷源实现闭环运行：Cryo-300桌面减震型低温光学恒温器样品台最低温度可达3.6K，多级隔振把振动压制在200纳米以内;6轴闭循环低温样品架从室温降到6K不到4小时，样品在超高真空下可实现六自由度调节，整体采用无磁材料以适应强磁场环境。
薄膜制备是从科研走向产业的主航道。
分子束外延(MBE)在超高真空腔中把元素加热成定向束流，在精确控温的单晶衬底上逐层沉积，配合RHEED(反射高能电子衍射)原位监控，厚度控制精度可达单原子层量级，是生长量子阱、超晶格、拓扑绝缘体、氧化物异质结几乎唯一的手段。衡量一台MBE的水平往往不在腔体而在核心部件:费勉自研了大容量源炉、大尺寸衬底加热器、阀式裂解源(控制As、P等易挥发元素的束流开关与裂解效率)和全自动传样机械臂，这些部件长期被海外厂商把持，能自研意味着设备定义权在自己手里。从MBE-300这类科研型设备，它已推进到MBE1000-cluster生产型集群系统，并满足SEMI S2这一进入量产厂房的基本门槛。
等离子技术是第四条线。
FERMI-RFPS-200采用线圈式结构，可激发H₂、N₂、O₂及稀有气体，在MBE中覆盖氮化物生长、氮原子注入与掺杂以及高能氢原子表面清洗。另一分支是紫外光源，由面向科研光谱与质谱用户起步，再向下游延伸至光刻;2026年6月的第二届先进光刻技术研讨会上，它已展出包括极紫外(EUV)光源及光学系统在内的短波紫外光学产品线。
| 从论文到晶圆厂：三条主线的跃迁
半导体薄膜，即晶圆级MBE系统与超高真空解理镀膜系统，面向化合物半导体与光芯片量产，已批量交付国内头部半导体企业。
工业量测最具战略价值：XPS(X射线光电子能谱)基于光电效应，通过测量逸出光电子的动能反推表面几纳米厚度内的元素组成与化学价态，是少数能直接读出"元素处于什么化学状态"的手段。2023年首台国产化工业在线XPS问世并兼容12英寸晶圆无损检测，2025年12月精卫100系列首台套交付，形成了从实验室到晶圆产线的完整覆盖。
紫外光源与等离子则是更远期的技术储备。
| 登上《ACS Nano》，与时代的一次同频
判断一台科研仪器好不好，有一个比参数更可靠的指标：它有没有出现在高水平论文的方法章节里。2026年5月，北京量子信息科学研究院低维量子材料团队、拓扑量子计算团队与中国人民大学团队合作，在铁基超导研究中取得进展，成果以"通过精确控制化学计量比实现应变FeTe薄膜中磁有序与本征超导的可逆调控"为题发表于《ACS Nano》，背后用的正是费勉的设备。清华、北大、复旦、南京大学、中科大、中科院物理研究所，乃至中国聚变能源有限公司，从凝聚态物理到能源大科学装置，客户名单本身就是背书。十余年间公司累计获授权专利近200项，获评工信部专精特新"小巨人"，研发人员占比三成以上。
"十五五"规划建议已把高端仪器与集成电路、工业母机并列，作为需全链条推动攻关取得决定性突破的重点领域。市场侧，XPS的全球供给长期集中在赛默飞、日本ULVAC-PHI、岛津旗下Kratos等厂商手中，中国高端市场的国产化率此前处于个位数，而需求端正快速扩容——半导体界面分析、固态电池电极表征、催化剂研究都绕不开它;MBE侧则由法国Riber、美国Veeco领跑。资本的背书同样明确：2021年A+轮引入华为哈勃投资，2026年5月C轮引入复容投资、复旦科创、工业母机基金、元禾璞华、深创投等十余家国家级产业资本。
| 下一道关：从"能做"到"能量产"
从实验室到产线，技术跨越之外还有工程跨越。
一台设备能让一位PI做出漂亮的数据，和它能在一座全年无休的晶圆厂里保持稳定良率与交付一致性，中间隔着供应链、制造体系、工艺方法学与服务网络的全面重建。看待费勉的价值，更值得关注的是那套"真空 + 低温 + 薄膜 + 等离子"的能力平台，而非某个型号的短期出货——当下最稀缺的，正是这种可横跨多条赛道的底层工具能力。
| 谁来定义"测量权"
资本现在正开始向更上游也更"笨重"的地方渗透：科学仪器、真空核心件、分析与测试方法学。这些环节技术门槛极高、国产化率极低，但一旦立住就是很难被撼动的长期资产。如果说前一轮国产替代是"把产线抢回来"，这一轮更像是争夺"测量和定义标准的权利"。
费勉走到IPO门口的意义，或许在于证明了：十几年前几个复旦物理博士在实验室里攒出来的那套真空和低温手艺，可以长成为支撑国家战略产业的基础设施。
本文基于公开信息撰写，包括证监会及上海证监局披露信息、公司官网产品资料、政府采购与高校招标公示、学术期刊与媒体报道。文中观点仅代表作者判断，不构成投资建议。
