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扫码加入知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：我想咨询一下国内做SiC离子注入设备的厂家有哪些？
如下图，目前下图是国内已知的稍大的离子注入设备供应商，相对国外的AMAT,Axcelis相比，实力会差很多。主要体现在：
1，精度
2，生产速率
3,稳定性
4，软件
其中，北京烁科中科信，青岛四方思锐智能，上海凯世通，季华恒一（佛山）是具有SiC离子注入设备。
国外的SiC离子注入设备商有：Axcelis ，AMAT,SHELLBACK,爱发科,日新离子机械株式会社等。
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| 器件型号 | 数量 | 器件厂商 | 器件描述 | 数据手册 | ECAD模型 | 风险等级 | 参考价格 | 更多信息 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CPC1918J | 1 | IXYS Integrated Circuits Division | Solid State Relay, TRANSISTOR OUTPUT SOLID STATE RELAY, 2500 V ISOLATION-MAX, ROHS COMPLIANT, ISOPLUS264, 4 PIN |
|
|
$10.07 | 查看 | |
| 0242.050UR | 1 | Littelfuse Inc | Electric Fuse, 0.05A, 250VAC, 250VDC, 4000A (IR), Surface Mount, ROHS COMPLIANT |
|
|
$5.26 | 查看 | |
| G6BU-1114P-US-DC12 | 1 | OMRON Corporation | Power/Signal Relay, SPST, Latched, 0.017A (Coil), 12VDC (Coil), 200mW (Coil), 5A (Contact), 30VDC (Contact), DC Input, DC Output, Through Hole-Straight Mount, ROHS COMPLIANT |
|
|
$11.61 | 查看 |
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