SiC离子注入设备的厂家有哪些？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：我想咨询一下国内做SiC离子注入设备的厂家有哪些？

如下图，目前下图是国内已知的稍大的离子注入设备供应商，相对国外的AMAT,Axcelis相比，实力会差很多。主要体现在：

1，精度

2，生产速率

3,稳定性

4，软件

其中，北京烁科中科信，青岛四方思锐智能，上海凯世通，季华恒一（佛山）是具有SiC离子注入设备。

国外的SiC离子注入设备商有：Axcelis ，AMAT,SHELLBACK,爱发科,日新离子机械株式会社等。

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