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离子注入机

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离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。2021年,中国电科离子注入机亮相第十三届中国国际航空航天博览会。

离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。2021年,中国电科离子注入机亮相第十三届中国国际航空航天博览会。收起

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    一、引言 离子注入机作为半导体制造前段制程的核心精密装备,通过精准掺杂改变半导体材料电学特性,是实现集成电路高集成度、高性能的关键工艺设备。在全球半导体产业向先进制程攻坚与成熟制程扩产并行的趋势下,优质二手高端半导体设备凭借高性价比优势,成为平衡技术需求与成本控制的重要选择。应用材料(AMAT/APPLIED MATERIALS)作为全球离子注入机领域的领军企业,其量子 9500xR 型离子注入机
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