氟化氢替代测试成功，LG 显示已开始使用

与非网 9 月 2 日讯，尽管日本政府正式将韩国移出了对外贸易白名单，管制对韩国公司出口光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢等重要材料，但是日本方面最近也审批了新的对韩出口，光刻胶、氟化氢两种产品都批准出口了。

高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种，在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程，是一种半导体生产中非常重要的原材料，日本公司在这个领域占据主要份额。

但是日本的制裁使得韩国公司对日本供应链产生了警惕，即便可以进口，三星、SK 海力士及 LG 等公司还是会替换日本材料。日前韩国媒体报道称，LG 旗下的 LG Display 公司已经测试成功了韩国产氟化氢，并开始应用于工业生产，这比原先预计的时间提早了一个月多。

据业内消息人士称，LG 显示最近完成了一家韩国公司提供的高纯度氟化氢的最终测试，并开始在生产线上使用。根据测试报告，自制的氟化氢符合产量和成本要求。据报道，LG 显示将韩国氟化氢应用于有机发光二极管（OLED）面板等旗舰面板生产线。

此外，预计三星显示也将在 9 月内完成韩国高纯氟化氢的测试。目前来看，测试中还未发现任何关键问题，本地产品很可能在最终测试后立即用于批量生产。此前，三星显示使用日本和韩国材料公司的氟化氢。

与使用纳米级工艺的半导体生产线不同，显示板生产不需要纯度为 99.9999999999％的超高纯度的氟化氢。氟化氢主要用于湿法蚀刻以去除有缺陷的涂层并清洁和去除显示板表面上的有机物质和氧化物。

从日韩的对立情况来看，两国的关系不太可能在短时间内修复，日本还会继续通过管制措施制裁韩国，但是韩国在重要材料上也决定转向国产自主，预计在未来 5 年里投入 5 万亿韩元（约合 295 亿人民币）实现 100 多种重要材料及装备的国产化。

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