芯耀
光子精密QM系列图像尺寸测量仪配备2000W像素传感器与双视野双远心镜头，实现±1微米超高精度，只需按下启动键，仪器即可根据工件的形状自动定位测量对象、 匹配模板、测量评价、报表生成，真正实现一键式快速测量。
- 高精度图像处理技术；
- 双视野双远心镜头；
- ±1μm高精度测量；
- 一键3S即可完成测量；
- 一个工件可同时测量 5000+ 个数据；
- 一次可同时测量 1000+ 个工件；
- 自研视觉检测软件 QMVS，简洁易操作。
| 型号 | QM-8100 | QM-8300 | QM-8500 | ||
| 相机 | 2000W像素 黑白CMOS | ||||
| 镜头 | 单视野双远心镜头 | 双视野双远心镜头 | |||
| 照明系统 | 落射 | 组合环形光、同轴光（选配） | |||
| 透射 | 远心底光 | ||||
| 测量范围 (XY) |
广视野 | 不拼图 | φ100×80mm | φ100×80mm | 90×60mm |
| 拼图 | 260×180mm | 500×400mm | |||
| 高精度 | 不拼图 | φ25×20mm | 20×15mm | ||
| 拼图 | 230×130mm | 430×350mm | |||
| 测量范围(Z) | 75mm | 250mm | |||
| 测量精度 | 广视野 | 不拼图 | ±3μm | ±3μm | ±3μm |
| 拼图 | ±(5+0.005L)μm | ±(5+0.005L)μm | |||
| 高精度 | 不拼图 | ±1μm | ±1.5μm | ||
| 拼图 | ±(3+0.005L)μm | ±(3+0.005L)μm | |||
| 静态 重复精度 |
广视野 | 不拼图 | ±1μm | ±1μm | ±1μm |
| 拼图 | ±2μm | ±2μm | |||
| 高精度 | 不拼图 | ±0.5μm | ±0.5μm | ||
| 拼图 | ±1.5μm | ±1.5μm | |||
| 载物台 | XY行程 | 210×130mm | 420×350mm | ||
| 承重 | 约5kg | 约5kg | 约25 kg | ||
