刻蚀设备_刻蚀设备是什么意思

【海翔科技】泛林半导体 Lam Research Versys Metal 系列二手刻蚀设备

1、引言在半导体制造后端（BEOL）工艺中，金属刻蚀设备是实现芯片互连结构成型的核心关键设备，其刻蚀精度与稳定性直接决定芯片的电学性能与可靠性。泛林半导体（Lam Research）推出的Versys Metal系列刻蚀设备，凭借卓越的金属/介质刻蚀选择比、低损伤刻蚀工艺及高效的量产适配能力，可精准完成6-12英寸晶圆的铝、铜等金属层刻蚀，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片等中高端半导体产线。随着半导

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01/31 12:10

半导体刻蚀设备

全球前道设备供应商汇总：干法设备（75家）

发布前道干法刻蚀设备供应商数据，涵盖ICP、TCP、CCP等多种技术路线，并附带供应商表格。

半导体综研

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01/29 14:22

刻蚀设备

【海翔科技】泛林半导体 Lam Research 9400 SE 系列二手刻蚀/蚀刻设备

一、引言在半导体制造工艺中，刻蚀设备作为前道工序的核心关键设备，直接决定芯片图形转移的精度与良率。泛林半导体（Lam Research）推出的9400 SE系列刻蚀设备，作为成熟制程干法刻蚀领域的标杆机型，凭借稳定的工艺输出、广泛的材料适配性及高性价比优势，可精准完成6-8英寸晶圆的氧化硅、氮化硅、多晶硅刻蚀工艺，适配功率器件、模拟芯片等主流半导体产品制造需求，在中小规模半导体产线中应用广泛。随

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01/28 16:10

半导体刻蚀设备

刻蚀设备，正成为中美日科技博弈的新战场！

刻蚀技术是芯片制造的关键，决定着芯片性能。中美日三国围绕这项核心技术展开激烈竞争，应用材料和泛林集团掌握高端刻蚀市场。中国企业在刻蚀设备领域进步迅速，中微公司、北方华创、盛美上海和屹唐股份逐渐崛起。未来刻蚀设备的发展方向将是平台化和原子级制造，以应对更精细的芯片制造需求。

芯火相承

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2025/10/24

刻蚀工艺刻蚀设备