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工艺CD偏差较大,到底是光刻还是刻蚀的锅?
在集成电路制造中,关键尺寸(CD)偏差会影响器件性能和良率。确定偏差源需要区分光刻和刻蚀环节的问题。光刻偏差通常由曝光剂量、焦距、掩模缺陷等因素引起,而刻蚀问题则涉及选择比、各向异性等。通过分步CD测量并结合SEM分析、DOE实验,可以快速定位和解决CD偏差问题。
韭菜笔记1907
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11/14 10:09
集成电路制造
集成电路制造的质量管控铁三角:CP、FT 与 WAT 测试解析
在集成电路制造的复杂流程中,CP(Chip Probing)测试、FT(Final Test)测试和 WAT(Wafer Acceptance Test)测试构成了质量管控的关键体系。这三大测试环节分别作用于芯片生产的不同阶段,拥有独特的测试目标与对象,如同精密仪器的不同部件,共同保障着芯片产品的可靠性与稳定性。
国芯制造
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05/12 11:20
芯片测试
集成电路制造
集成电路芯片切割新趋势:精密划片机成行业首选
集成电路芯片切割选用精密划片机已成为行业发展的主流趋势,这一趋势主要基于精密划片机在切割精度、效率、兼容性以及智能化等方面的显著优势。 一、趋势背景 随着集成电路技术的不断发展,芯片尺寸不断缩小,集成度不断提高,对切割技术的要求也日益严格。传统的切割方法已难以满足高精度、高效率的切割需求,因此,精密划片机作为半导体后道封测中的关键设备,其应用越来越广泛。 二、精密划片机的优势 1. 高精度切割:
博捷芯划片机
519
03/22 07:10
划片机
集成电路制造
晶圆前道工艺(FEOL)和后道工艺(BEOL)的区别
在集成电路制造中,前道工艺(FEOL, Front End of Line)和后道工艺(BEOL, Back End of Line)是两个密切相关、但工艺内容和目标完全不同的阶段。要理解它们的区别,可以将整个半导体制造过程比喻为建造一座智能大厦:前道工艺相当于“建设基础与结构框架”,而后道工艺则是“完成内部连线与功能集成”。
老虎说芯
9740
2024/12/21
集成电路制造
第26届集成电路制造年会暨供应链创新发展大会在广州隆重开幕
5月23日,由中国半导体行业协会、中国集成电路创新联盟指导,由中国半导体行业协会集成电路分会、中国半导体行业协会半导体支撑业分会、集成电路封测创新联盟、装备创新联盟、材料创新联盟、零部件创新联盟、检测与测试创新联盟、投资创新联盟、广东省集成电路行业协会、粤港澳大湾区半导体产业联盟等单位主办的第26届集成电路制造年会暨供应链创新发展大会(CICD)在广州隆重开幕。 科技部原副部长、中国集成电路创新联
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2024/05/24
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