芯耀
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一、引言
TFT-LCD（薄膜晶体管-液晶显示）面板制造流程精密复杂，Array、Cell等核心制程中易因异物污染、工艺偏差等产生亮点、暗点、线路断短路等缺陷，直接降低产品良率。激光修复技术凭借非接触、高精度、热影响区小的优势，成为修复微观缺陷的核心手段，通过调控激光能量作用于缺陷区域实现性能修复，显著提升良率、降低成本。同时，基于缺陷类型差异，激光修复形成了多种专项技术类型，适配不同修复需求。
二、激光修复核心原理
激光修复的核心逻辑是依据缺陷特性与材料属性，利用激光的热效应、光化学效应或物理冲击，对缺陷区域进行微创干预。对于短路类缺陷，通过激光高温使冗余导电材料或异物气化剥离，实现线路绝缘分离；对于断路类缺陷，借助激光热效应或沉积技术重建线路连接；对于点缺陷，通过遮光材料重构或元件性能修复消除显示异常，全程保障周围正常结构不受损伤。
三、激光修复主要类型及适配场景
（一）按缺陷类型分类
1. 点缺陷修复：针对亮点、暗点等像素级缺陷。亮点修复含BM修复（黑色矩阵扩散，利用激光推动黑色颗粒填充缺陷区遮光）与DM修复（直接法，激光使滤光片材料碳化暗化）；暗点修复多采用激光退火技术，加热TFT半导体层改善晶体结构，恢复开关功能。
2. 线缺陷修复：适配数据线、栅极线断短路。断路修复通过激光诱导沉积金属材料重建线路，短路修复则以激光精准切割或气化冗余材料实现绝缘。
（二）按激光作用机制分类
1. 热效应修复：通过激光局部加热实现材料熔化重连（断路）或气化去除（短路），如线路断短路修复、激光退火，核心是精准控制热影响区范围。
2. 光化学效应修复：利用激光光子能量引发材料化学变化，如部分薄膜材料的改性修复，适用于对热敏感的缺陷区域。
3. 物理冲击修复：通过激光脉冲的机械冲击力去除异物或冗余材料，适配微小异物导致的短路缺陷。
（三）按修复工艺阶段分类
1. Array段修复：针对阵列基板的TFT元件、线路缺陷，如栅极/数据线断短路，修复后保障后续Cell制程的基础性能。
2. Cell段修复：聚焦液晶盒封装后的点缺陷，如漏光亮点，采用BM/DM修复法，避免损伤已封装的液晶结构。
四、修复技术实施的核心支撑
各类修复技术的精准实施依赖三大支撑：亚微米级高精度定位系统（结合AI视觉识别缺陷）、动态激光参数调控（适配不同修复类型调整波长与能量）、超高精度运动平台与洁净环境，确保修复稳定性与一致性。
显示面板激光修复设备：精密修复解决方案
新启航水冷激光修复设备搭载NW激光器，整合精密光学系统、镭射加工/观测专用显微镜及光学物镜，构建起高精度修复核心架构。设备采用X/Y轴自动精细调节、Z轴半自动智能调节模式，搭配大理石精密光学基础载物平台，以卓越的稳定性和操控性，实现对工件特定材质层短路缺陷的精准修补，展现出强大且专业的镭射修复能力。
一、多元适配的应用场景
本设备专为TFT-LCD系列液晶面板修复设计，可覆盖15.6寸至120寸全尺寸范围，精准攻克LCD面板常见不良现象。无论是恼人的亮点、暗点，还是复杂的断半线、竖彩线、竖彩黑线、单竖黑线、双竖黑线及横网等缺陷，都能通过先进的镭射修复技术快速处理，为液晶面板品质提升提供可靠保障。
二、智能协同的先进控制系统
设备采用前沿多线程技术、COM技术，深度融合运动算法与图像视觉算法，实现电机驱动系统、激光控制系统、图像识别系统的高效联动。凭借微米级精准控制能力，可快速、准确锁定产品缺陷点。此外，设备提供全自动四孔鼻轮调焦功能，并支持选配四孔电动鼻轮，满足多样化使用需求。同时，简洁直观的操作界面设计，大幅降低操作人员的学习成本与使用门槛。
三、灵活高效的高兼容性软件系统
针对不同型号激光控制器通讯协议的差异，本设备软件系统进行深度优化。通过将多种激光器通讯协议集成于同一软件，操作人员仅需通过简单的软件选项，即可激活当前使用的激光器。这种设计使激光器对操作者完全透明，让操作人员专注于工艺与功能实现，无需关注激光器具体型号差异，显著提升工作效率与便捷性。
