【海翔科技】泛林半导体 Lam Research RAINBOW 4520i 系列 二手蚀刻机

一、引言

在半导体制造工艺中，刻蚀设备作为前道工序的核心关键设备，直接决定芯片图形转移的精度与良率。泛林半导体（Lam Research）推出的RAINBOW 4520i系列刻蚀设备，作为干法刻蚀领域的经典机型，凭借优异的刻蚀选择比、精准的关键尺寸控制及广泛的工艺兼容性，可适配6-8英寸晶圆的氧化硅、氮化硅、多晶硅及金属材料刻蚀，广泛应用于传统硅基半导体及碳化硅、氮化镓等化合物半导体产线，是功率器件与模拟芯片制造的核心装备。随着半导体产业成本控制需求升级，二手RAINBOW 4520i系列设备的市场化流通日益频繁。海翔科技基于多年半导体设备运维经验，严格遵循SEMI行业规范及《进口旧机电产品检验监督管理办法》，建立了涵盖拆机评估、整机检测、现场验机的全流程质量管控体系，为二手RAINBOW 4520i设备的合规复用提供技术保障。本文将系统阐述该体系的核心技术要点与实施规范。

二、RAINBOW 4520i系列设备核心技术特性

RAINBOW 4520i系列刻蚀设备的核心竞争力源于其干法刻蚀场景的精准控制能力。该机型搭载高性能射频系统与低压反应腔室，可实现硅/氧化硅刻蚀选择比≥50:1，即使是高深宽比沟槽结构也能刻蚀出垂直平整的侧壁；关键尺寸均匀性（CDU）≤3%，保障晶圆全域刻蚀效果一致性。设备采用单晶圆真空负载锁定设计，支持“刻蚀-清洗”连续流程，每小时可处理≥20片晶圆，兼顾量产效率与工艺稳定性。同时，其腔室配备防沉积涂层，延长清洁周期30%以上，降低维护成本。二手设备的评估与检测需围绕上述核心技术特性，重点验证刻蚀选择比、关键尺寸均匀性及射频系统稳定性等关键性能参数的保持性。

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