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MS2102AB-M00电容式MEMS空麦如何工作?高灵敏度防油雾化器方案

6小时前
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一、基础概念:什么是空麦?

MEMS空麦

定义

空麦:指电容MEMS气流压力传感器(别称:MEMS空麦)。

核心技术:MEMS (微机电系统) —— 将微机械结构与电路集成在硅芯片上的微型系统。

 主要特征

体积小、成本低:适合批量自动化生产。

传感方式:电容式 (Capacitive)。

检测原理:非电阻或热学变化,而是通过检测电容变化来感知物理量。

二、核心工作原理

物理结构 (由三部分构成可变电容器)

振膜 (Diaphragm):纳米级可动薄膜(可动电极)。

背板 (Backplate):刚性多孔硅板(固定电极)。

空气间隙 (Air Gap):两者间的微米级空隙。

MEMS传感器工作原理

工作流程 (物理-机械-电转换) 

感知:气流压力 →→ 膜片位移。

转换:间距(dd)改变 →→ 电容(CC)变化 (公式:C∝1/dC∝1/d)。

输出ASIC芯片检测微弱信号 →→ 放大/补偿 →→ 输出数字/开关信号。

MEMS工作流程

三、技术对比:电容式 vs 压阻式

维度

电容式 MEMS (本产品)

压阻式 MEMS

核心原理

测几何变化 (位移→→电容)

测材料特性 (形变→→电阻)

灵敏度

 (纳米级检测)

较低

噪声/精度

 (低底噪,高分辨率)

良 (受热噪声影响)

温度稳定性

 (对温度不敏感)

差 (电阻易受温度漂移影响)

功耗

较高 (需复杂ASIC)

很低

一致性

 (线性度需补偿,但长期稳定)

好 (小变形下线性)

四、MS2102AB-M00 核心优势

极致尺寸:2.7 x 1.8 mm 封装,适应紧凑结构。

优异防护

防油/防酸:优于驻极体,寿命更长。

耐高温:支持 260℃ SMT 自动化生产。

性能卓越

高灵敏度 & 快速响应:硬件级比较速度,秒杀传统软件轮询。

高一致性:提升用户抽吸口感的统一性。

安全机制

防自燃/干烧:电容变化容错率高。

防误触:具备防自启、自检机制。

五、面临的挑战与对策

三大技术挑战

信号微弱:电容变化量极小,易受干扰。

寄生电容:引线和封装产生的寄生电容可能淹没信号。

非线性输出:输出与间距成反比,需线性化处理。

解决方案

高性能 ASIC 芯片进行信号放大与补偿。

特殊的差分电容检测电路设计

关键:严格的 PCB 布局规范。

六、应用指南:PCB Layout

信号线处理 (C+)

极易受手触、油滴干扰导致自启。

要求:走线长度 < 1mm,外盖白油保护。

接地与隔离

C- 与 GND:必须短接。

铺铜:传感器区域上下层避免大面积铺铜 (减小寄生电容)。

开孔设计

底部开孔约 0.4mm (无铜孔)

上下层绿油开窗,防止印油堵孔。

热源隔离

远离发热丝、MOS管,避免高温误触发。

七、结构设计与匹配验证

防油加固建议

点胶:在 2718 封装底部四周点胶密封。

物理防护:外围增加 Φ6.0 金属外壳。

气道设计:确保通畅无泄漏,防止漏油直接进入空麦内部。

匹配度验证流程

定制化:不同 ASIC/MCU 及项目结构需单独匹配灵敏度。

流程:调试 →→ 小批量试产验证 →→ 批量投产。

MEMS匹配度验证流程

八、生产规范:SMT与作业禁忌

SMT 注意事项

焊接:无虚焊、假焊、短路;吸嘴不可吸住进气孔。

ESD 防护:MEMS 极其脆弱,全程必须防静电。

严禁操作 (红线)

禁止使用洗板水、酒精清洗 (会破坏内部薄膜)。

禁止使用气枪直吹除尘 (压力会震碎薄膜)。

禁止长时间高温维修。

禁止对封装施加过大机械应力。

严禁操作

九、总结

MS2102AB-M00 是高端雾化器的优选气流传感器方案。

核心价值:体积小、一致性好、耐高温、防油防酸。

成功关键:严格遵守 PCB Layout 规范 与 无清洗/无气枪 的生产工艺。

华芯邦

华芯邦

华芯邦成立于2008年,是一家专注于模拟芯片、数模混合芯片、功率器件设计研发、先进封测的集成电路/半导体企业,总部位于深圳,同时在苏州、台北、美国设有芯片研发及工艺制程中心,在江苏、山东和广西自建芯片框架封装、基板封装、晶圆级封装等先进智造中心,集团总资产超10亿元,是国内为数不多的以Fab-Lite模式运作的芯片公司。 电源管理芯片/充电IC、音频功放芯片、MEMS传感器(硅麦/声学硅麦克风)、智能雾化充电芯片等半导体核心产品。

华芯邦成立于2008年,是一家专注于模拟芯片、数模混合芯片、功率器件设计研发、先进封测的集成电路/半导体企业,总部位于深圳,同时在苏州、台北、美国设有芯片研发及工艺制程中心,在江苏、山东和广西自建芯片框架封装、基板封装、晶圆级封装等先进智造中心,集团总资产超10亿元,是国内为数不多的以Fab-Lite模式运作的芯片公司。 电源管理芯片/充电IC、音频功放芯片、MEMS传感器(硅麦/声学硅麦克风)、智能雾化充电芯片等半导体核心产品。收起

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华芯邦成立于2008年,是一家专注于模拟芯片、数模混合芯片、功率器件设计研发、先进封测的集成电路/半导体企业,总部位于深圳,同时在苏州、台北、美国设有芯片研发及工艺制程中心,在江苏、山东和广西自建芯片框架封装、基板封装、晶圆级封装等先进智造中心,集团总资产超10亿元,是国内为数不多的以Fab-Lite模式运作的芯片公司。 电源管理芯片/充电IC、音频功放芯片、MEMS传感器(硅麦/声学硅麦克风)、智能雾化充电芯片等半导体核心产品。

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