自动物料搬送系统 (AMHS:Automatic Material Handling System)这个领域的讨论热度相对晶圆制造设备而言低很多,但其重要性却不容忽视。晶圆厂的生产效率很大程度上取决于CIM系统和AMHS的配合工作。
目前AMHS系统基本是12吋晶圆厂的标配,在很多8吋线也有广泛应用。所以我今天也打算整理一版供应商数据,供大家参考这个领域在全球主要被日本的大福和村田两家垄断,不过最近国内也有不少公司崛起,并发展良好另外,Auto-Transport的相关设备虽然严格来说不是AMHS的范畴,但因为功能类似,我也一并整理展示了麻烦大家在参考的同时也帮忙确认,如果发现任何问题,请和我私信交流。感谢您的支持
本文表格内容详细分类数据的原始文档(《全球AMHS供应商及产品统计》),我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣,欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有详细介绍和加入方式
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