微机电系统是什么 微机电系统的应用领域有哪些

微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）是一种将微观机械工艺与微电子技术相结合，制造出微小尺寸、低功耗、集成度高的电子器件的学科。

微机电系统随着半导体制造技术和微纳加工技术的发展而逐渐壮大。它采用微型化和集成化的工艺，可以制造出像机械传感器、微马达等微型设备在内的许多微系统，并应用于医疗、汽车、航空等各个领域。

1.微机电系统是什么

微机电系统主要由微机械部分、电子元件和系统集成三部分组成。其中微机械部分包括微机械结构、微加工技术和材料技术，主要实现功能是通过微型机械结构感知外部环境，并将信号转换为电信号输出。电子元件则负责信号的处理和放大，系统集成部分完成微机械结构与电子元件之间的组装和封装。

2.微机电系统的应用领域有哪些

微机电系统在各种高精度仪器中得到广泛应用。例如，在汽车产业中使用压力传感器、流量传感器和加速度传感器等MEMS技术实现智能化；在医学设备中使用血压计、药物输送泵和人工耳蜗等MEMS芯片，实现对细胞、分子和药物等方面的研究；在无人机或者卫星上运用 MEMS 加速度传感器、陀螺仪和气压计，为导航控制和姿态稳定提供技术支持等。