加入星计划,您可以享受以下权益:

  • 创作内容快速变现
  • 行业影响力扩散
  • 作品版权保护
  • 300W+ 专业用户
  • 1.5W+ 优质创作者
  • 5000+ 长期合作伙伴
立即加入
  • 正文
    • 1.微机电系统的分类
    • 2.微机电系统的特点
  • 相关推荐
  • 电子产业图谱
申请入驻 产业图谱

微机电系统有哪些分类 微机电系统的特点是什么

2023/03/22
2835
阅读需 7 分钟
加入交流群
扫码加入
获取工程师必备礼包
参与热点资讯讨论

微机电系统,简称MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems),指的是微米级别下制造的微型电子机械系统。它集成了微型传感器微处理器和微机械构件等多种功能单元,具有体积小、功耗低、可靠性高、成本低等特点,被广泛应用于物联网、医疗设备、安防系统、智能家居等领域。

1.微机电系统的分类

按照不同的分类方法,微机电系统可以分为以下几类:

  • 按工作原理分类:压力式、容积式、惯性式、光学式、生化式等。
  • 按运动方式分类:平移式、旋转式、弯曲式、振荡式等。
  • 按应用场景分类:加速度计陀螺仪、血压计、麦克风投影仪等。

2.微机电系统的特点

微机电系统具有以下几个显著的特点:

  1. 体积小:由于采用微米级制造工艺,微机电系统可以制作成极小的尺寸。
  2. 低功耗:微机电系统由于工作电压比较低,所以功率消耗也较低,延长了电池寿命。
  3. 高精度:微机电系统采用全部微米级制造工艺,大大提高了精度。
  4. 可靠性高:微机电系统主要用于刚性物体之间的相对运动测量,其结构简单、不易损坏,从而保证了其可靠性。
  5. 成本低廉:微机电系统采用批量生产方式,可以在同一个晶圆上同时制造多个芯片,从而降低成本,逐渐被广泛应用。

相关推荐

电子产业图谱