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晶圆湿法清洗吹扫氮气纯度要求
晶圆湿法清洗后吹扫氮气(N₂)的纯度要求至关重要,直接影响晶圆表面洁净度、干燥效果及后续工艺良率。以下是关键分析: 1. 核心要求 典型纯度:99.999%(5N)以上,部分高端制程(如EUV光刻)可能要求99.9999%(6N)。 杂质控制重点: 氧气(O₂):<1 ppm(避免氧化残留污染物或影响金属层)。 水蒸气(H₂O):露点≤-70℃(防止水渍残留导致颗粒团聚或腐蚀)。 颗粒物:&
苏州芯矽电子科技有限公司
1371
06/23 16:58
硅晶圆
晶圆产能
盘点台积电全球晶圆厂产能和制程
台积电的制程演进历史,从3um到现在的3nm。目前台积电3nm(N3)已经量产,这里3nm都是等效节点,非实际的物理节点。2nm(N2)计划在2025年量产。而下下代则是A16节点。也就是1.6nm
歪睿老哥
4359
03/18 10:25
台积电
晶圆厂
多条12英寸晶圆产线,正式投产!
12英寸晶圆厂在半导体制造中占据着重要地位,2024年年末之际,润鹏半导体、天成先进、燕东微电子、粤芯半导体、华虹无锡五条12英寸晶圆产线纷纷传来投产动态,另包括中芯国际、广州增芯科技在内的2条晶圆产线都有最新进展,上述纷纷主要聚焦生产功率器件和高级逻辑芯片等。
全球半导体观察
3238
01/03 11:20
晶圆产能
SEMI:中国半导体产业自主率逐年攀升,预计2027年达26.6%
9月25日,第十二届(2024年)中国电子专用设备工业协会半导体设备年会、第十二届半导体设备与核心部件展示会(CSEAC 2024)在无锡隆重开幕。25日上午,第十二届(2024年)中国电子专用设备工业协会半导体设备年会与集成电路(无锡)创新发展大会(ICIDC)开幕式上,SEMI中国区Senior Director陈莉发表了题为《全球半导体市场概况》的精彩演讲,全面剖析了当前全球及中国半导体设备产业的现状与未来发展趋势。
半导体产业纵横
2925
2024/10/01
半导体产业
半导体设备
12英寸晶圆产能持续放量
12英寸晶圆厂投资热度不减,此前瑞萨电子、力积电、台积电、联电等都已宣布建设新的12英寸晶圆厂。中国大陆方面,此前行业消息显示,2024年投产的12英寸晶圆厂还有华润微、增芯科技、粤芯半导体,三个项目均位于广东。
全球半导体观察
1422
2024/04/23
晶圆产能
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近期热疯了都在收内存芯片,囤存储芯片风险点有这些?
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