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混合键合(Hybrid Bonding)结合了电介质-电介质键合和金属-金属键合,无需使用焊料或其它粘合剂即可实现晶圆与晶圆、芯片与晶圆或芯片与芯片的互连。
混合键合(Hybrid Bonding)结合了电介质-电介质键合和金属-金属键合,无需使用焊料或其它粘合剂即可实现晶圆与晶圆、芯片与晶圆或芯片与芯片的互连。收起