高层对话-2024，专访迷思科技|迷思科技压力传感器的特有工艺

迷思科技在展会访谈中介绍了其特有的微创手术的工艺，微创手术本来的含义是在人体的体表开一个很小的创口，然后通过导管把医疗器械深入到人体的内部进行手术，然后手术完之后再取出来，这样的话人体创口缝合比较方便，恢复期也比较短。我们是在硅片的正面先开一些很小的微孔，然后让腐蚀溶液从这个微孔进入到硅片内部，掏出一个比较大的腔体来，然后再把这个微孔进行封堵，就像那个医学上的缝合窗口一样。封堵好之后，在芯片内部形成了一个真空腔，在这个真空腔的基础上再形成压力传感器。

迷思科技总经理倪藻介绍：“相对于以前的传统工艺来比的话，迷思科技的压力传感器的薄膜可以做到非常薄，可以精准控制。对于压力传感器来说，膜做得薄了就意味着芯片可以同步往下缩小。迷思科技的压力传感器的膜可以达到五六微米，我们最新的技术TUB功能甚至可以控制到2微米左右，远远低于同行的一般的十几微米的模厚，所以我们的芯片面积也要远远小于同行。”

“压力传感器是汽车领域传感器中产值最高的一个品类，迷思科技已经在BPS、按摩座椅等方向进行布局。另外，公司的压力传感器凭借其尺寸小的特征，特别适用在测颅内压、脉象信息提取等医疗领域。”倪藻补充道。