芯耀
188
1 、引言
气动阀块孔是气动控制系统的核心流道结构，承担着压缩空气传输、阀组安装定位的关键功能，其孔深精度直接决定阀块装配密封性、气流控制精度，进而影响气动系统的响应速度与运行稳定性。传统测量技术如接触式探针测量易划伤孔壁、残留金属碎屑，可能导致气路堵塞或泄漏，且针对阀块内部密集交错的孔道存在可达性差的问题；超声测量受阀块铝合金/铸铁材料的声衰减及孔道界面反射干扰，测量误差难以满足精密气动系统的检测需求。激光频率梳技术凭借等间隔频率梳齿的高精度时频基准优势，实现频域与时域的精准转换，且具备非接触、无损伤、高效率测量特性，为气动阀块孔深3D轮廓测量提供了可靠解决方案。本文提出基于激光频率梳的气动阀块孔深光学3D轮廓测量方法，旨在突破传统技术瓶颈，满足阀块量产检测的高精度与高效率需求。
2 、激光频率梳3D轮廓测量原理
激光频率梳通过飞秒激光器产生超短脉冲序列，经非线性光学效应生成等频率间隔的梳齿状光谱，其重复频率与载波包络偏移频率的双锁定机制，可提供精度达10⁻¹⁵量级的时频基准。在3D轮廓测量中，激光频率梳输出的脉冲光经高精度微透镜组缩束与准直调制后，投射至气动阀块孔表面，反射光与参考光在探测器上形成干涉信号，相位差与光程差呈严格线性对应关系。通过傅里叶变换解析干涉信号，结合莫尔条纹相位调制原理，可将条纹偏移量转化为孔壁与孔底的高度信息，即满足h = (Δx·λ)/(2·sinθ)（其中Δx为条纹偏移量，λ为激光波长，θ为投影角度）。相较于传统光学测量，该技术借助长相干长度特性（可调至120mm）突破阀块孔密集交错遮挡与长光程衰减限制，实现孔底轮廓的完整、无损伤、高精度重建。
3 、测量系统设计与实验验证
3.1 系统结构设计
测量系统由激光频率梳模块、微光束精准调制模块、图像采集模块及数据处理模块组成。激光频率梳模块选用650kHz高频飞秒激光器，输出635nm红光脉冲，既保证阀块铝合金/铸铁孔壁的反射效率，又避免激光能量对孔壁造成损伤；微光束精准调制模块通过高倍率微透镜组实现光束聚焦（聚焦光斑直径≤35μm），配合多自由度微型电动云台驱动实现±155°俯仰扫描，确保覆盖阀块内部密集交错孔道的全深度区域；图像采集模块采用高灵敏度、抗干扰CCD相机，配合频率梳时间戳标记实现干涉条纹的同步清晰采集；数据处理模块基于加权最小二乘法完成相位解包裹，结合气动阀块孔的圆柱面与斜面复合校准模型修正坐标偏差，最终精确计算孔深值。
3.2 实验验证
实验选取标准气动阀块样品，含直径2-6mm、深度20-80mm的孔道共40个，以高精度X-CT测量值为基准。系统扫描速度设为22mm/s，点云密度90点
激光频率梳3D光学轮廓测量系统简介：
20世纪80年代，飞秒锁模激光器取得重要进展。2000年左右，美国J.Hall教授团队凭借自参考f-2f技术，成功实现载波包络相位稳定的钛宝石锁模激光器，标志着飞秒光学频率梳正式诞生。2005年，Theodor.W.Hänsch（德国马克斯普朗克量子光学研究所）与John.L.Hall（美国国家标准和技术研究所）因在该领域的卓越贡献，共同荣获诺贝尔物理学奖。
系统基于激光频率梳原理，采用500kHz高频激光脉冲飞行测距技术，打破传统光学遮挡限制，专为深孔、凹槽等复杂大型结构件测量而生。在1m超长工作距离下，仍能保持微米级精度，革新自动化检测技术。
核心技术优势
①同轴落射测距：独特扫描方式攻克光学“遮挡”难题，适用于纵横沟壑的阀体油路板等复杂结构；
（以上为新启航实测样品数据结果）
②高精度大纵深：以±2μm精度实现最大130mm高度/深度扫描成像；
（以上为新启航实测样品数据结果）
③多镜头大视野：支持组合配置，轻松覆盖数十米范围的检测需求。
（以上为新启航实测样品数据结果）
