MEMS即微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。

1.MEMS是什么

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

MEMS是什么

2.MEMS的特点

1、微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。

2、以硅为主要材料,机械电器性能优良:硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度类似铝,热传导率接近钼和钨。

3、批量生产:用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。

4、集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,甚至把多种功能的器件集成在一起,形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。

5、多学科交叉:MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。

MEMS的特点

3.MEMS的主要应用

1、在喷墨打印机里作为压电元件

2、在汽车里作为加速规来控制碰撞时安全气囊防护系统的施用

3、在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜,控制动态稳定控制系统

4、在轮胎里作为压力传感器,在医学上测量血压

5、用作数字微镜芯片

6、在计算机网络中充当光交换系统,这是一个与智能灰尘技术的融合

7、设计微机电系统最重要的工具是有限元分析。

MEMS的主要应用