一文了解芯片(光刻、注入、薄膜、刻蚀)四大工艺
这一篇文章介绍几种芯片加工工艺,在Fab里常见的加工工艺有四种类型,分别是图形化技术(光刻)、掺杂技术、镀膜技术和刻蚀技术。具体工艺包括光刻(lithography)、离子注入(ion implantation)、快速退火(rapid thermal process, RTP)、等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)、溅射(sputtering)、干法刻蚀和湿法腐蚀等。