TGV打孔的激光种类有哪些？

TGV 打孔用的激光，可以按波长和按脉冲宽度两个维度来分，实际用的主要就是几类。我按常用的激光种类来讲，每种的特点和适用的成孔方式。

一、按激光波长分

1. 紫外激光（UV，如 355nm）

固体激光经三倍频得到 355nm，是常用的紫外激光。

特点：波长短、光子能量高、玻璃强吸收，能量集中在浅表层，靠光化学（断键）加光热去除材料。精度高、能做小孔、热影响小、崩边少，适合盲孔和精细孔。

2. 准分子激光（Excimer，深紫外，如 248nm、193nm、308nm）

用惰性气体加卤素气体放电产生深紫外光（KrF 248nm、ArF 193nm、XeCl 308nm）。

特点：波长比 355nm 更短、光子能量更高，光化学冷加工的成分更强，精度更高、热影响更小。

成孔方式：直接烧蚀，用于精密微孔加工。

3. 绿光激光（532nm）

固体激光二倍频得到 532nm（可见绿光），介于紫外和红外之间。

特点：波长和光子能量居中，玻璃有一定吸收。精度和热影响介于紫外和红外之间。有些 TGV 加工会用到。

成孔方式：直接烧蚀。

4. 红外激光（IR，如 1064nm）

固体/光纤激光的基频 1064nm 近红外。

特点：玻璃对近红外吸收弱、穿透深。正因为穿透深，它更常用于"改质"——激光穿透进玻璃内部、靠非线性吸收在体内形成改质区，而不是直接烧蚀表面。

成孔方式：主要用于改质+刻蚀路线的改质步骤（尤其配合超快激光），也可做直接加工但直接烧蚀玻璃不如短波长精细。

5. CO₂ 激光（远红外，10.6μm）

气体激光，波长很长（10.6μm 远红外）。

特点：玻璃对远红外吸收非常强，能量沉积在表面，靠大能量热熔化气化成孔。功率大、效率高、能打大孔。

成孔方式：直接烧蚀（热熔穿）。

二、按脉冲宽度分

1. 长脉冲激光（纳秒及以上）

脉冲较长，靠热作用去除材料，有明显的热影响区，容易产生崩边、微裂纹、重铸层。前面说的很多传统激光（纳秒紫外、CO₂）属于这类。

2. 超快激光（皮秒、飞秒）

脉冲极短（皮秒 10⁻¹²秒、飞秒 10⁻¹⁵秒）。这是高质量 TGV 成孔的关键。

特点：脉冲极短，能量在热量来不及扩散前就完成作用，热影响区极小、崩边极少、孔壁光滑、质量高。

成孔方式：既可用于直接烧蚀（高质量），更常用于改质+刻蚀路线的改质步骤。

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