设备 | 总投资6.5亿元！住友重机投资新厂，离子注入机产能有望提高两倍

CINNO Research 产业资讯，住友重机械工业于 10 月 27 日宣称，要新建工厂用于生产半导体制程中使用的离子注入设备（如下图 1）。随着第五代移动通信（5G）、人工智能（AI）的普及，半导体市场不断扩大，因此，住友重机械工业计划在当前设备的基础上将产能扩大两倍。总投资额约为 110 亿日元（约人民币 6.6 亿元），目标在 2022 年 8 月正式稼动。

新工厂建在旗下子公司住友重机械离子科技（Ion Technology，东京都品川区，简称 SMIT）持有的爱媛县西条市工厂的邻接地，旨在扩大业务、提高生产和物流效率。建筑面积约为 3 万 5700 平方米。计划在 2021 年 3 月开始动工。

SMIT 2020 年 3 月期（2019 年 4 月 -2020 年 3 月）销售额约为 320 亿日元（约人民币 19.2 亿元）。离子注入设备的作用是向硅晶圆注入加速离子。随着智能手机、电动汽车（EV）等需求增长，预计图像传感器市场也会出现增长，因此离子注入设备的订单也会随之增加。

新工厂概要：

1. 所在地：爱媛县西条市今在家 1501

2. 投资总额：约 110 亿日元

3. 产能：现在产能的 2 倍（包括现有设备）

4. 占地面积：17,686㎡

5. 建筑面积：35,692㎡

6. 日程：计划动工时间：2021 年 3 月

7. 计划竣工时间：2022 年 7 月

SMIT 概要

1. 业务概要：离子注入设备的研发、生产和销售，以及相关服务

2. 工厂所在地：爱媛县西条市今在家 1501

3. 成立时间：1983 年 4 月

4. 注册资本：4 亿 8000 万日元

5. 销售额：约 320 亿日元（2019 年度）

6. 员工数：448 人

关于离子注入设备

离子注入设备，是向半导体元件构造材料硅晶圆注入加速离子的设备。对电脑、智能手机、汽车等各种电器设备中所搭载的半导体生产极其重要。

图 1：All-in-One 型离子注入机 SAion®（图片来源：住友重机械工业官网）