静电放电(Electrostatic Discharge,简称ESD)是由于电荷在芯片或系统中积累而产生的放电过程。该术语也可指芯片能承受的放电容量要求。行业已经对最常用的静电放电过程进行了分类和建模,形成了一系列标准,并为操作环境和工艺提出了要求。
对于芯片级别的ESD要求,当前主要分为人体模型(Human Body Model,HBM)、机器模型(Machine Model,MM)和带电器具模型(Charged Device Model,CDM)。HBM对应人体放电,MM对应机器放电,而CDM则对应硅芯片或系统板级自身的放电。系统级别的ESD也有更严格的评估标准,即IEC61000-4-2。
电气过应力(Electrical Overstress,简称EOS)是一个大家族。全称为电气过应力,指的是硅芯片或系统的运行环境(如电源电压)超出预期的过程。这些过程可能会对硅芯片或系统造成严重损害。导致EOS的原因很多,首先是ESD;其他原因包括因错误的电源操作引起的异常电源供应、由急剧负载变化引起的浪涌,甚至闪电(令人害怕!)。EOS也有其一系列标准。
闩锁效应(Latch-up)是一种常听到的现象,也与芯片损坏有关。它特指芯片内部P型/N型/P型/N型半导体结构组合产生正反馈导通现象,从而生成大电流。
| 类型 | 描述 | 影响因素 | 持续时间 | 破坏程度 |
|---|---|---|---|---|
| ESD | 静电放电过程 | 电压、电流、时间 | 短时(纳秒至微秒级) | 局部化、单目标 |
| Short-time EOS | 短期电气过应力 | 电压、电流、时间 | 较短 | 隐蔽性损伤 |
| Long-time EOS | 长期电气过应力 | 电压、电流、时间 | 较长 | 多类型、大面积损坏 |
如何具体损害硅芯片?让我们深入探讨导致半导体损坏的两个主要原因:
- 高电压:过度电压会导致原本隔离的绝缘性能下降。一个典型例子是MOS晶体管的栅极因高电压而击穿,使栅极和沟道不再绝缘。
- 过热:大多数半导体内的不可逆损坏都归因于过高温度。热量从何而来?功率的时间积分为能量,足够的能量会产生足够的热量。
因此,影响半导体内部损坏的三个变量是电压、电流和时间。只要任何变量得到控制使得总乘积不超过限制,损坏就可以避免。这听起来很简单,对吧?加热损坏的一个典型例子就是闩锁效应。如果当有充足能量供应时发生闩锁效应,例如连续供电,那么电压、电流和时间的乘积超过限制就会导致过热损坏。
关于ESD造成的损坏,如果没有ESD保护装置,非常高的ESD电压将施加到设备上,可能会导致以下结果:
- 设备无导电性,如栅极,因此高电压将继续作用直到栅极击穿。
- 当施加到设备上的电压足够高以至于设备具有导电能力时,设备开始提供漏电路径。ESD电荷被释放,主要电压降发生在ESD源处,因此施加到设备上的高电压不再继续增加以达到平衡状态。如果设备的电流、电压和ESD持续时间超过限制,设备将过热并受损。
高电压ESD过程的持续时间通常很短(在几十纳秒到几十微秒之间),高电压所含的能量也很有限(当静电电荷释放完毕后结束)。因此,ESD造成的热损伤通常是局部化的且针对单一目标。当然,系统开机期间的ESD放电也可能从瞬态闩锁转变为持续闩锁。
至于其他类型的EOS,由于不同的原因,其持续时间范围很广。短期EOS的行为类似于ESD,可能造成难以检测的损坏并影响可靠性。然而,长期EOS的能量要大得多,通常会导致严重的多类型芯片损坏,如芯片的大面积熔化、引线键合损坏以及包装碳化。
因此,芯片的ESD保护电路可以有效保护部分与ESD放电相似的EOS过程,但可能不足以应对长期EOS过程。特别是在依赖闩锁来帮助释放能量的保护器件,在长期闩锁期间容易因高温而受损。因此,对抗高能量和长期EOS需要更多专业的保护器件,如能够承受更高功率的TVS钳位器件。
由此我们可以理解,ESD是一种EOS。提高芯片抗ESD的能力可以帮助一些类型的EOS,但这并不意味着万无一失。仍然有必要从应用和系统角度保护EOS,以减少EOS发生的概率并彻底提高系统可靠性。
99
