静电吸盘

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静电吸盘(Electrostatic Chuck,ESC)是一种利用静电力吸附晶圆(wafer)于基座上的夹持装置,广泛应用于等离子蚀刻(Etch)、离子注入(Implant)等真空环境下的晶圆制程工艺中。

静电吸盘(Electrostatic Chuck,ESC)是一种利用静电力吸附晶圆(wafer)于基座上的夹持装置,广泛应用于等离子蚀刻(Etch)、离子注入(Implant)等真空环境下的晶圆制程工艺中。收起

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