芯耀
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张通社 zhangtongshe.com
为未来业务规模提升和新产品持续导入奠定基础。
近日，上海精测半导体技术有限公司（以下简称“上海精测”）研发总部暨装备制造基地项目正式破土开工。
该项目规划占地面积约26.8亩，总投资规模超过3亿元，预计建成后将成为集研发、生产与实验功能于一体的综合性产业基地。
此次开工标志着上海精测在半导体前道量检测设备领域的布局进入新阶段，也进一步强化了长三角地区在集成电路关键环节的产业集聚能力。
曾获两期大基金加码 聚焦半导体前道量检测设备领域
上海精测成立于2018年7月，是国内半导体量检测领域的头部企业，主营业务为半导体量检测设备的研发、生产与销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。公司曾获得国家专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、上海市专精特新企业、上海市企业技术中心等荣誉。
在半导体制造全流程中，量检测设备直接关系到芯片的工艺精度与生产良率，属于产业链中的关键支撑环节。上海精测依托自主组建的研发体系，拥有电子束/离子束成像、光谱分析量测、光学干涉测量等技术手段，已开发薄膜厚度量测、关键尺寸量测、有图形晶圆检测、电子束检测等多类产品，能够为客户提供制程管控优化和良率提升解决方案。
其发展方向是通过自主构建研发团队及海外并购引入国产化等手段，实现半导体测试、制程设备的技术突破及产业化，同时借助母公司精测电子在平板显示检测领域已建立的领先市场地位，协同提升相关专用设备在集成电路市场的竞争力，致力于发展成为国内领先的半导体测试设备供应商与服务商。
在稳步推进产品研发与市场拓展的过程中，上海精测也屡获重要资本支持，其中国家集成电路产业投资基金（以下简称“大基金”）的持续投入尤为引人注目。
早在2019年，大基金一期即战略入股上海精测，参与其总额5.5亿元的A轮融资；2023年3月，公司又成为大基金二期当月投资的第二家半导体量检测设备企业，是行业内少数获得两期大基金共同重点支持的企业之一。
目前，国家大基金二期、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）、上海青浦投资有限公司均持有上海精测4.8247%的股份，位列公司前十大股东名单。这一资本结构，充分体现了国家级与地方产业资本对其技术路线与成长前景的认可。
显示面板检测设备龙头 横跨三大赛道的平台化布局
上海精测的快速发展，离不开母公司武汉精测电子集团股份有限公司（以下简称“精测电子”）的深厚产业基础与战略引领。
精测电子创始人彭骞出生于1974年，毕业于武汉市华中理工大学（现华中科技大学）制冷设备与低温技术专业。在创业之前，他曾在广州爱斯佩克环境仪器有限公司、武汉英泰斯特电子技术有限公司从事市场销售工作。2006年，他在武汉创立精测电子，最初以显示面板检测设备为核心业务。
经过十年发展，公司于2016年在深圳证券交易所创业板成功上市，并逐步构建起覆盖武汉、苏州、上海、北京、常州的五大产业基地，同时在美国、日本、韩国及中国台湾地区设立了研发据点，成为国内显示检测领域的领军企业。
上市之后，精测电子开启了以检测技术为平台、向半导体与新能源领域拓展的战略转型。2017年11月，公司正式更名为武汉精测电子集团股份有限公司，以集团化模式统筹业务发展。
自2018年起，依托在显示检测领域积累的技术与市场优势，精测电子开始系统性地向半导体和新能源检测领域渗透，并陆续设立多家专业子公司。
2018年3月，武汉精鸿电子技术有限公司成立，专注于半导体后道测试设备；同年6月，武汉精能电子技术有限公司成立，主攻太阳能、锂电池测试系统；同年7月，上海精测半导体技术有限公司与武汉精毅通电子技术有限公司同期成立，分别聚焦于半导体前道量检测设备领域与高端精密压接产业链。
此后，集团通过跨国并购进一步强化技术布局。2019年，精测电子集团增资控股日本半导体企业WINTEST株式会社，并随后在武汉成立伟恩测试技术有限公司；2020年，又在北京设立精测半导体装备有限公司。
通过近二十年的持续发展，彭骞及其带领的精测电子集团已基本完成在半导体、显示与新能源三大战略新兴领域的产业布局，成为国内极少数覆盖半导体前道与后道全环节检测的设备企业之一。
与此同时，精测电子集团还联合华中科技大学、复旦大学、武汉理工大学、中国地质大学、武汉大学等科研院所建立了联合研发中心，围绕集成电路、人工智能、新能源材料等国家战略方向开展前沿技术合作，为集团各业务板块的长期发展提供持续的技术支撑。
建设研发制造基地 支撑技术迭代与产能提升
此次开工的上海精测研发总部暨装备制造基地，正是精测电子集团加码半导体前道检测领域的关键举措。
2025年12月13日，精测电子发布公告，披露了控股子公司上海精测计划投资约3.5亿元建设二期实验室扩建项目的相关规划，引发行业广泛关注。
根据规划，上海精测将通过公开竞拍方式，购置位于上海市青浦区市西软件信息园F2-05地块的土地使用权，该地块毗邻上海精测现有生产中心，北至河道、南至源硕路、西至佳旭路、东至佳驰路，占地面积约26.8亩，土地使用年限为50年，预计建设用地使用权出让价款约6300万元。
在这片规划明确的产业用地上，上海精测将建设一个集研发、生产与实验功能于一体的现代化产业基地。项目总建筑面积约3.79万平方米，主要建设内容包括约1.7万平方米的洁净车间、6000平方米的办公实验区、7000平方米的仓库及机加工、动力站等辅助用房，以及7800平方米的地下室。项目建成后，将主要用于半导体前道量检测设备的研发及生产，成为上海精测技术创新与产能扩张的核心载体。
精测电子表示，本次项目建设是为满足公司业务发展和经营需求，加快向更先进制程工艺迭代升级。项目建成后，将有效完善公司产品结构，提前预留工艺开发与产能扩张空间，缓解现有产线资源紧张问题，加快订单交付节奏，更好地满足客户批量供货需求，为未来业务规模提升和新产品持续导入奠定基础。
上海精测半导体研发总部暨装备制造基地的开工建设，是在中国半导体产业链持续深化自主发展的背景下，一家技术型企业基于自身积累、市场判断与战略规划所做出的实质性布局。该项目不仅着眼于解决当前发展阶段的现实约束，更致力于构建面向产业未来的系统化能力。
在半导体设备国产化进程不断推进的今天，前道量检测作为关键环节，其技术突破与产业落地具有重要意义。上海精测此次的基地建设，既是对企业自身发展路径的坚定践行，也为区域集成电路产业集群的完善提供了又一支撑。
文字｜昼屿 编辑｜施静怡
