芯耀
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1、引言
离子注入机作为半导体制造前段制程的核心精密装备，通过精准掺杂改变半导体材料电学特性，是实现集成电路高集成度、高性能的关键工艺设备。其中高电流离子注入机凭借高效的掺杂能力，在大剂量注入、阱区形成等关键工艺中不可或缺。瓦里安（VARIAN）VIISta HC 系列作为高电流离子注入机领域的经典机型，凭借稳定的工艺性能、高效的生产能力与广泛的制程适配性，在二手设备市场保有量极高。海翔科技深耕二手半导体设备领域，针对该系列设备推出拆机检修与整机翻新双重服务，并建立标准化现场验机体系，通过精准测试核验设备性能，为半导体企业提供高可靠性、高性价比的二手设备解决方案，助力企业降本增效。
2、瓦里安 VARIAN VIISta HC 系列核心技术特性
VIISta HC 系列作为瓦里安面向中高端成熟制程的高电流离子注入机旗舰机型，采用模块化架构设计，核心由长寿命高电流离子源、高分辨质量分析器、高效加速管、二维扫描系统及全自动晶圆处理系统构成，专为大剂量注入、阱区形成、隔离层制备等高效掺杂工艺打造。在核心技术参数方面，该系列机型能量调节范围覆盖5--400keV，可精准满足中低能到大剂量掺杂工艺需求；支持硼（B）、磷（P）、砷（As）等常用掺杂元素注入，束流强度可达毫安级，剂量范围涵盖1E12~1E16 atoms/cm²，误差控制在±1%以内，能完美匹配28-90nm逻辑芯片、功率半导体及存储芯片制造的核心工艺需求。
该系列机型搭载高精度二维扫描系统，结合先进的离子束均匀化技术，将注入角度误差控制在±0.2°以内，片内均匀性≤0.5%，保障大剂量掺杂工艺的一致性与重复性；配备高真空度真空系统，极限真空度可达5×10⁻¹⁰ Pa，有效降低杂质污染风险。同时，机型集成智能离子束监测与反馈系统，可实现剂量实时校准与异常预警，确保工艺全流程可追溯，其平均故障间隔时间（MTBF）达1200小时以上，具备优异的运行稳定性与连续生产能力。
3、海翔科技拆机/整机服务与现场验机测试体系
海翔科技针对二手VIISta HC系列设备建立了专项拆机/整机服务体系，严格遵循瓦里安原厂标准及GB/T 15862-2012离子注入机通用规范。拆机服务聚焦离子源、加速管等核心部件，进行深度拆解清洁、损伤检测与精准修复，对磨损超标的易损件采用原厂兼容配件更换；整机翻新则按“拆解-清洁-修复-组装-调试”标准化流程执行
4、二手设备的质量保障体系
海翔科技建立了涵盖设备筛选、翻新、校准、测试的全链条质量管控体系。在设备甄选阶段，仅选取运行时长≤8000小时、核心部件无重大损耗的原厂设备；翻新过程严格遵循应用材料原厂标准，采用原厂兼容配件；最终通过多轮工艺验证测试，包括不同元素、不同能量档位的注入性能测试，确保设备满足多样化工艺需求
海翔科技 —— 深耕二手半导体设备领域的专业领航者，凭借深厚行业积累，为客户打造一站式设备及配件供应解决方案。
在半导体前段制程领域，我们拥有海量优质二手设备资源，精准匹配芯片制造的关键环节需求；后道封装设备板块，丰富的设备品类覆盖封装全流程，助力客户降本增效。
我们还提供齐全的二手半导体专用配件，从核心部件到精密耗材，为设备稳定运行保驾护航。海翔科技，以多元产品矩阵与专业服务，为半导体产业发展注入强劲动力。
