255
Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案，这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一款名为Sekidenko 4100T 的高温计。这款4100T光纤温度计采用即插即用的设计，只要轻轻一插便可取代 Advanced Energy 一直领先市场的OR4000T，而且4100T的温度测量准确度特别高，温度范围也较宽广，加上内置的多条通道可同时进行读取，让读取速度可以提升至最高水平，因此极适用于先进半导体和相关的薄膜应用。
Advanced Energy 关键检测技术及控制系统市场营销及应用副总裁 Jeff Hebb 表示：「Advanced Energy 的高温计性能卓越，技术领先同业，一直获多家顶尖的半导体OEM大厂采用。这款4100T高温计的许多功能都比原先一直领先同业的 Advanced Energy OR4000T 有进一步的改善，新功能也很多，让我们的客户可将工艺控制能力和生产力提升至无与伦比的高水平。功能齐备的4100T是一款可轻易取代OR4000T的替代品，让我们现有的客户可以轻易为系统换代更新。此外，这款高温计也可支持EtherCAT、串行和USB通信接口。」
由于使用4100T的用户可以同时测量多达4个不同位置的温度，因此执行多点控制功能所不能缺少的控制箱可以进一步减少，这样有助于缩小方案大小，也可节省系统成本。此外，每一通道的读取速度可以高达1kHz，因此热反应会更快，让温度可以更易受控，并确保先进应用的温度更加一致，相关的应用包括快速热处理、激光退火、原子层沉积以及其他先进的沉积技术。
这款多通道的光纤温度计可按照特殊应用发射可配置波长，因此其准确度、可重复性和可靠性都特别高，而且读取速度也较快，适用于要求极为严格的温度测量工作。传统的热电偶和其他接触式的传感器测量方法有时并不十分适用，例如直接接触会令晶圆受损，也会产生污垢或因为受到热转移效应的影响以致出现测量误差。4100T光纤温度计可以无需接触相关物体而直接在现场测量温度，准确度在 ±1.5°C 之内。此外，4100T光纤温度计不但没有因直接接触而可能产生的问题，而且对于某些应用来说，例如，正在移动中的晶圆或正以极高温或较高变温速率(ramp rate)研磨处理中的晶圆，4100T是个理想的解决方案。
下载ECAD模型
