光刻机

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光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。收起

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  • 光刻机之王背后:弃子、联盟与铁幕
    ASML凭借技术创新和生态系统整合,成功垄断了全球EUV光刻机市场,成为半导体行业的关键力量。尽管面临美国的封锁和技术壁垒,中国也在积极自主研发,寻求突破。
    光刻机之王背后:弃子、联盟与铁幕
  • 光刻机需要通入哪些气体?
    光刻机使用准分子激光器,主要依靠惰性气体(Ar、Kr)和卤素气体(F₂)放电形成激光。不同波长的光源对应不同的气体混合体系,如KrF激光器使用0.3% F₂ + 15% Kr + 84.7% He,ArF激光器使用0.4% F₂ + 20% Ar + 79.6% He。这些气体组合不仅满足形成准分子激光的条件,还影响放电均匀性和激光能量输出。
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  • 荷兰专家感叹:中国囤积ASML光刻机不是防御,而是为一场“技术长征”提前备粮
    荷兰专家提出,中国大规模采购ASML光刻机并非防御性囤货,而是为了长远的技术自给自足和技术进步做准备。这种策略不仅反映了对未来技术竞争的预期,也体现了中国政府在半导体领域的战略规划和投资决心。
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    11/13 09:53
    荷兰专家感叹:中国囤积ASML光刻机不是防御,而是为一场“技术长征”提前备粮
  • 70亿!光刻机新晋独角兽诞生,挑战ASML,还要建晶圆厂
    Substrate是一家美国芯片设备创企,刚获1亿美元融资,估值超10亿美元,推出新型先进X射线光刻技术,声称可与ASML高NA EUV机器媲美,达到2nm半导体节点分辨率。团队约50人,主要目标是降低成本,计划在美国建自有晶圆厂网络,未来几年内投入生产。
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    11/03 09:50
    70亿!光刻机新晋独角兽诞生,挑战ASML,还要建晶圆厂
  • 挑战ASML!这家美企要用X射线造芯,成本降低90%!
    Substrate是一家新兴的光刻设备制造商,开发出一款使用X射线光源的光刻机,有望与荷兰ASML的High NA EUV光刻机竞争。该光刻机成本更低,有望大幅降低尖端制程芯片的制造成本。Substrate计划在美国重建半导体制造能力,对抗中国在半导体领域的崛起。
    挑战ASML!这家美企要用X射线造芯,成本降低90%!
  • 超精密尖端装备的珠穆朗玛峰-光刻机 有哪些核心难点?与海外大厂差距深度剖析
    光刻机被誉为半导体制造的关键装备,全球市场呈现寡头垄断局面,主要由ASML、Nikon和Canon三家主导。光刻技术的发展历程经历了多个波长阶段,最终EUV光刻技术成为推动摩尔定律的关键。光刻工艺复杂,涉及多个掩模层和曝光步骤,每一代技术进步都伴随着最小特征尺寸的减半。光刻机的核心难点在于极紫外光的生成、光学系统的精确对准和高精度镜片的制造。
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    10/31 14:51
    超精密尖端装备的珠穆朗玛峰-光刻机 有哪些核心难点?与海外大厂差距深度剖析
  • 新凯来,不止光刻机
    深圳市新凯来技术有限公司成立于2021年,专注于半导体装备及核心零部件的研发、制造与服务,具有“国家队”属性。公司计划在2025年前推出一系列半导体设备,并希望通过全产品线协同和关键节点单点突破,缩小与国际领先企业的差距。面对国际巨头的竞争,新凯来采取了差异化战略,强调国产替代和全产业链布局,力求在关键技术领域取得突破。
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  • 台积电拒绝天价光刻机
    台积电拒绝购买昂贵的ASML High-NA EUV光刻机,转而采用多重曝光技术进行芯片制造,展示了先进制程的另一种可行路径。
    台积电拒绝天价光刻机
  • 光刻机之王:中国市场降温,存储成关键增长引擎
    2025 年 10 月 15 日,全球光刻机领域的绝对龙头 ASML 交出第三季度成绩单。这份财报中,既有整体业绩的稳健增长,也暗藏区域市场的分化信号,而存储行业的强势复苏,正成为对冲不确定性、拉动增长的核心力量 —— 正如 ASML 总裁兼首席执行官傅恪礼所言:“第四季度的表现将非常强劲,2025 全年净销售额预计增长约 15%,这背后离不开市场需求结构的积极变化。”
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    10/17 13:48
    光刻机之王:中国市场降温,存储成关键增长引擎
  • 全球首台!ASML新一代光刻机发货
    ASML发布全球首台TWINSCAN XT:260光刻机,大幅提升生产效率并进军先进封装光刻领域;同时宣布与Mistral AI合作,将AI融入光刻生态系统,推动智能化光刻技术发展。此外,高NA EUV光刻机确认收入,彰显ASML在芯片制造中的主导地位和技术优势。
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    10/16 10:59
  • 一台设备卖2亿欧!ASML利润神话还能撑多久?
    ASML作为全球领先的光刻机制造商,凭借其独家的EUV光刻技术成为芯片制造的关键供应商。尽管面临全球半导体行业的变化和挑战,ASML通过强大的生态系统和技术优势维持了其市场地位。然而,随着市场需求的变化和新技术的挑战,ASML正面临新的考验,尤其是其下一代高风险技术High-NA EUV光刻机的商业化前景充满不确定性。
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    10/16 10:58
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  • 工程师聊DUV光刻机和EUV光刻机的区别
    DUV光刻机使用短波长激光,在空气中和水中进行精细加工,依赖于光学系统和产线经验来保证稳定性。EUV光刻机采用锡等离子体产生极紫外光,工作环境要求极高真空,需要克服光路损耗和污染风险。两者的主要区别在于光源、光路和掩模的不同,EUV面临更高的物理极限和技术挑战,需要全面系统的优化才能稳定运行。
    工程师聊DUV光刻机和EUV光刻机的区别
  • 全球光刻机巨头阿斯麦(ASML)崛起密码:Cymer与Brion的协同创新传奇
    ASML通过收购Cymer和睿初科技,整合了EUV光源技术和计算光刻技术,实现了极紫外光刻技术的重大突破,巩固了其在全球高端光刻机市场的领先地位。面对技术瓶颈和市场竞争压力,ASML凭借全球协同创新的生态系统,持续推动技术创新,应对未来的挑战。
    全球光刻机巨头阿斯麦(ASML)崛起密码:Cymer与Brion的协同创新传奇
  • 半导体光刻机风起云涌:大厂加单,俄罗斯发力
    在半导体产业里,光刻机作为上游设备领域的代表性产品,对产业发展起着决定性作用,是推动芯片制程进步、引领行业发展的关键力量。近期,半导体光刻机领域动作不断,英特尔和三星等大厂提高了光刻机订单量;与此同时,俄罗斯公布了光刻机研发路线图,旨在推动本土芯片产业发展。 01、两家半导体大厂提高光刻机订单量 根据外媒Techpowerup报道,近日光刻机龙头ASML表示,根据目前的订单信息和需求,预计2027
  • CET供配电异常信息捕捉及故障诊断分析系统守护工业“生命线”
    在半导体行业,毫秒级电压暂降可致洁净车间高价值光刻机骤停,造成巨大经济损失;在石化行业,生产连续性要求高,谐波污染加速设备老化,易引发连锁故障导致停产;在冶金行业,大型设备启停频繁,谐波与电压暂降多发,系统层级多、电能质量治理复杂,广域分析面临同步难、定位难等挑战;在汽车制造行业,变频器密集运行产生谐波干扰,影响机器人流水线稳定,高交付要求下停产损失巨大...... 工业供配电系统的稳定性,早已成
  • 光刻机,国产替代势不可挡
    光刻机作为芯片制造的关键环节,决定芯片精度,是我国芯片产业发展的重要瓶颈。全球高端光刻机市场主要由荷兰ASML垄断,中国面临严重依赖进口的局面。尽管中国在光刻机研发上有一定进展,但仍需克服诸多技术和供应链难题。面对外部限制和技术封锁,国产光刻机的研发已成为国家战略任务,未来有望实现全面自主可控,推动中国芯片产业高质量发展。
  • 国产光刻机,还有多远
    国产光刻机进入测试阶段,标志着中国在高端制造领域取得阶段性胜利,增强了科技自立自强的信心。虽然与国际领先水平仍有差距,但国产光刻机的成功只是开端,未来还需持续攻关和突破。
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    09/18 09:51
    国产光刻机,还有多远
  • 半导体设备行业“热”背后的冷思考
    光刻机、离子注入机…这些关键设备国产化率仍不足5%。
    半导体设备行业“热”背后的冷思考
  • 在Fab中,光刻机有哪些种类?分别应用在什么节点?
    在半导体制造中,光刻机是 “芯片之母”,其性能决定芯片制程精度与集成度。按曝光机制,光刻机主要分为直写光刻、接近接触式光刻、光学投影光刻(含 i-line 光刻)及浸没式光刻四类,支撑不同层级半导体生产需求。
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    09/09 11:05
    在Fab中,光刻机有哪些种类?分别应用在什么节点?
  • 光刻机之外,中国半导体最缺什么?
    提到中国半导体的卡脖子问题,几乎所有人的第一反应都是——光刻机。ASML的极紫外(EUV)光刻机像是一把高悬的达摩克利斯之剑,让人们不断联想到命门、封锁、追赶。但如果我们只把焦点放在光刻机上,可能会忽略一个更大的事实:半导体是一条环环相扣、极度复杂的产业链,任何一个环节掉队都可能拖慢整体进度。 那么,光刻机之外,中国半导体最缺的是什么? 一、缺的不是设备,而是体系能力 半导体产业链被称为“人类工业
    光刻机之外,中国半导体最缺什么?

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