ASML、NIKON、CANON光刻机型号参数汇总

之前，我发布了一个ASML光刻机的型号参数的汇总列表。看起来大家对这个数据非常感兴趣，实际的阅读量远超我最初的预估既然如此，那我就多发布一些数据吧。这次，我干脆把全球前道光刻机供应商御三家：ASML、NIKON、CANON的全部数据都一次性发布出来，供大家参考吧老粉丝应该或许还记得我以前也发布过这个数据。

不过这次，我又增加了不少新的数据：

ASML：增加了最新NA值 .55得TWINSCAN EXE；增加了若干老机型的数据（部分数据参考了公众号：TOM聊芯片智造，特此感谢）NIKON：增加最新的NSR S636E等两三款型号

CANON：增加FPA Stepper机型若干

基本上，这个表格大体囊括了市面上主流的光刻机数据了，值得大家参考和收藏（限于我个人能力，很可能还有个别遗漏的，也麻烦大家给我留言提醒，谢谢了）

这些原始数据（包含更多信息，比如NA值、WPH、套刻精度等）的EXCEL表格，我会放到我的星球社区上如果大家对此有需求，欢迎加入。原价1998元，目前优惠666元后，实际价格1332元。