全球三大半导体光刻机供应商设备型号参数汇总（2026版）

07/27 10:25 作者：半导体综研

215

加入交流群

扫码加入
获取工程师必备礼包
参与热点资讯讨论

去年，我在公众号发布过一版ASML、NIKON、CANON三大家的光刻机型号和技术参数的统计表。文章的阅读量还不错

时间过去快一年的时间，我的表格里自然又增加了不少新数据 --三家供应商（尤其是佳能）在过去一年里又推出了不少新的设备。所以，我今天打算再更新一版，供大家参考

不过由于版面限制，部分详细参数（视场尺寸、DOF等）就只能略去了完整版原始EXCEL文档《全球前道光刻机的型号参数汇总》，我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣，欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有加入方式

人工客服
（售后/吐槽/合作/交友）

创建于1917年的尼康，在“信赖和创造”的企业理念引导下，积极开展以光学产品的开发和销售为主的各项事业，并以此奠定了发展基础。

创建于1917年的尼康，在“信赖和创造”的企业理念引导下，积极开展以光学产品的开发和销售为主的各项事业，并以此奠定了发展基础。收起

相关推荐