一提量检测设备,大多数人想到的都是缺陷、膜厚、线宽、套刻精度等。但是事实上量测的范围非常广泛,晶圆形貌量测也是一个重要的环节
- 宏观/3D几何主要是量测晶圆整体的翘曲程度而微观主要是量测局部的平整度AFM全称Atomic Force Microscope,属于纳米区域的物理性质包括形貌探测台阶测试仪是针对非透明的薄膜,用实体探针量测台阶高低(膜厚)
我整理了一下手头的数据,全球总共44家供应商,39家在中国大陆,几乎占了2三分之二。其实这个领域的市场空间也不是特别大,居然挤了这么多国产设备商,也是出乎我的意料欢迎行业朋友参考一下。如果发现问题,请和我私信交流
完整版量检测设备供应商数据的原始EXCEL表格文件,我也放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣,欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有加入方式
我收集了近十年的行业数据已经覆盖了八成以上半导体制造上游的供应链链,还有大量的原创行业景气度数据分析和研报。现在所有数据原始文档都贡献出来,给你个一锅端走的机会(云盘直接同步我电脑硬盘随时更新)另外还有大量的线上半导体知识讲座
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