全球晶圆量检测设备供应商统计：膜厚量测（41家）

我第一份工作是在国内某晶圆厂里做CVD工艺工程师，所以最早也是最频繁使用到的量测设备就是膜厚量测设备（除此以外就是参杂浓度量测设备了）。当时的光学膜厚量测设备的原理比较简单，所以我也一直习惯性以为这个领域技术难度不是很高

但后来和行业专家交流以后，才知道针对各种类型的薄膜，要保证量测的精度，技术上也不是那么容易。尤其是下层薄膜也是透明膜时，薄膜间的界面的区分和处理也是难点...

所以今天就顺手整理一个膜厚的量测设备供应商数据：包含介质膜和不透明金属膜两大类，四种技术路径。

以下为-Ray量测技术的英文对照：

X射线反射率 XRR :  X-ray Reflectivity

X射线荧光光谱分析 XRF:  X-ray Fluorescence

完整版量检测设备信息原始EXCEL文档《全球设备部件供应商及产品统计》，我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣，欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有加入方式

以下为原始表格截图：包含161家供应商、50类设备信息

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