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TGV的散热问题

2025/11/11
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TGV(Through Glass Via)虽然在高频、高绝缘、低热膨胀方面有明显优势,但散热性能一直是其被广泛应用于高功率封装(如SiP、HBM、RF模块)时的短板之一。

为什么TGV有散热问题而TSV没有?

玻璃与硅导热系数差异巨大:

材料 热导率(W/m·K) 对比说明
硅 (Si) ~150 良好的导热性
玻璃  ~1–1.4 极低,几乎是热绝缘体

玻璃基体的热导率比硅低两个数量级。因此在TGV结构中,玻璃中介层存在严重的散热问题,热量主要只能沿金属填充通孔(Cu/Ti/Cu等)路径传导

TGV封装中的导热路径芯片 → 金属互连(Cu Bump) → TGV金属填充 → 下方再分布层 / 载板。

问题在于:

TGV金属孔径小、间距大(Pitch通常>100 μm),无法形成连续散热通道;TGV间玻璃区域形成**“热绝缘岛”**,导致热扩散效率差。

→ 结果:芯片局部温度上升、热点难以扩散。

TGV目前的散热思路?

1,在逻辑芯片上方设置金属散热槽/腔体,使热量经高导热界面材料迅速传到上层的大面积铜层、均热板或散热器,

2,在封装的PCB板种增加散热孔

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